【技术实现步骤摘要】
本技术属于物料支撑装置,特别涉及一种浮动支撑。
技术介绍
1、在进行硅晶棒切割工作时,一般会沿硅晶棒的轴线方向,在硅晶棒的正下方均布多个支撑装置用于承托硅晶棒将硅晶棒精确移动至切割位置进行切割。
2、目前,市面上通常使用锁紧气缸配合相应的移动机构用作支撑装置承托硅晶棒并移动,但在实际使用过程中发现,当所支撑的物料为直径变化量波动小(即近似于圆柱状)的长硅晶棒时,如说明书附图1所示,放置在支撑组件上的硅晶棒的轴线与硅晶棒的输送方向相对平行,硅棒切斜影响小,在加工误差允许范围内;当所支撑的物料为直径变化量波动大(即近似于两端尺寸不一致的圆台状)的短硅晶棒时,如说明书附图2所示,因常规使用的支撑组件,如锁紧气缸,顶升接触到硅棒后即停止,无法对硅棒的倾斜程度进行感知并进一步调整,从而使放置在支撑组件上的硅晶棒的轴线易与硅晶棒的输送方向形成夹角,使得实际加工时只能达到说明书附图2和附图3中的承托状态,而无法实现说明书附图4和附图5中的理想承托效果,导致所截出的截面亦与硅晶棒的轴线形成夹角,即截出的截面为椭圆形,棒料切斜影响大,进而对硅晶棒后续的加工精度造成严重影响。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是:如何提供一种在支撑物料的同时,能够对物料位置进行感知并调整物料,进而解决物料被切斜的浮动支撑。
2、为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案为:
3、一种浮动支撑,包括伸缩装置和微动感应器,所述伸缩装置的活动端弹性连接有活动块;
4、
5、所述伸缩装置的活动端设有与凹陷结构相适配的凸块;
6、所述凹陷结构和凸块之间预设间距形成间隙;
7、所述微动感应器的感应端设置在间隙内。
8、进一步地,所述凹陷结构与凸块的接触面,以及凸块与凹陷结构的接触面均为球面。
9、进一步地,所述间隙的变化方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
10、进一步地,所述伸缩装置的活动端设有支撑块;
11、所述支撑块为空心结构;
12、所述活动块与支撑块弹性连接;
13、所述凸块设置在支撑块上,且凸块与凹陷结构相对设置;
14、所述微动感应器设置在支撑块的内部;
15、所述微动感应器的感应端贯穿凸块并朝向凹陷结构设置。
16、进一步地,所述微动感应器的感应端的一部分外露在凸块的外侧;
17、所述微动感应器的感应端的外露部分设置在凸块的最高处。
18、进一步地,还包括至少两个弹性元件;
19、所述弹性元件周向均布在凸块的外侧;
20、所述活动块通过弹性元件与支撑块弹性连接;
21、所述弹性元件的伸缩方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
22、进一步地,还包括密封圈;
23、所述支撑块的外侧周向设有限位件;
24、所述活动块为一端封闭一端开口的盖状结构;
25、所述活动块的开口端朝向支撑块设置;
26、所述限位件的外侧壁与活动块的内侧壁滑动连接;
27、所述密封圈设置在活动块的内部;
28、所述密封圈、活动块和限位件构成密封结构。
29、进一步地,沿所述伸缩装置的伸缩方向,密封圈的两端分别与活动块的封闭端以及限位件的厚度方向的一端相抵触;
30、沿垂直于所述伸缩装置的伸缩方向,密封圈的两端分别与活动块的内侧壁以及支撑块的外侧壁相抵触。
31、进一步地,所述活动块的开口端设有卡接件;
32、在所述伸缩装置的伸缩方向上,限位件设置在密封圈和卡接件之间;
33、沿所述伸缩装置的伸缩方向,卡接件可靠近或远离限位件;
34、当所述活动块移动至远离支撑块的最远处时,卡接件与限位件的厚度方向的另一端相抵触。
35、进一步地,所述伸缩装置包括支撑板、螺纹伸缩杆组和电机;
36、所述螺纹伸缩杆组和电机分设在支撑板的厚度方向的两侧;
37、所述支撑块与螺纹伸缩杆组的活动端相连;
38、所述电机与螺纹伸缩杆组的活动端传动连接,以带动支撑块沿螺纹伸缩杆组的轴向往复移动。
39、本技术的有益效果在于:本技术提供的浮动支撑,利用凹陷结构和凸块能够相互定心配合的效果,并将微动感应器设置在凹陷结构和凸块之间的间隙中,即可减小微动感应器的触发失误率,从而使微动感应器能够对接触到的棒料位置进行精准反馈,以为棒料位置调整提供结构上的支持,进而补偿物料顶升行程,达到解决硅棒尤其短棒容易切斜的问题。
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1.一种浮动支撑,包括伸缩装置和微动感应器,其特征在于,所述伸缩装置的活动端弹性连接有活动块;
2.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述凹陷结构与凸块的接触面,以及凸块与凹陷结构的接触面均为球面。
3.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述间隙的变化方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
4.根据权利要求3所述的浮动支撑,其特征在于,所述伸缩装置的活动端设有支撑块;
5.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,所述微动感应器的感应端的一部分外露在凸块的外侧;
6.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,还包括至少两个弹性元件;
7.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,还包括密封圈;
8.根据权利要求7所述的浮动支撑,其特征在于,沿所述伸缩装置的伸缩方向,密封圈的两端分别与活动块的封闭端以及限位件的厚度方向的一端相抵触;
9.根据权利要求7所述的浮动支撑,其特征在于,所述活动块的开口端设有卡接件;
10.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,所述伸缩
...【技术特征摘要】
1.一种浮动支撑,包括伸缩装置和微动感应器,其特征在于,所述伸缩装置的活动端弹性连接有活动块;
2.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述凹陷结构与凸块的接触面,以及凸块与凹陷结构的接触面均为球面。
3.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述间隙的变化方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
4.根据权利要求3所述的浮动支撑,其特征在于,所述伸缩装置的活动端设有支撑块;
5.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,所述微动感应器的感应端的一部分外露在凸块...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖起韩,李海威,李波,杨华英,林光展,陈钒,张博,何德镜,吴立雄,谢美春,
申请(专利权)人:福建天石源智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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