【技术实现步骤摘要】
本技术属于物料支撑装置,特别涉及一种浮动支撑。
技术介绍
1、在进行硅晶棒切割工作时,一般会沿硅晶棒的轴线方向,在硅晶棒的正下方均布多个支撑装置用于承托硅晶棒将硅晶棒精确移动至切割位置进行切割。
2、目前,市面上通常使用锁紧气缸配合相应的移动机构用作支撑装置承托硅晶棒并移动,但在实际使用过程中发现,当所支撑的物料为直径变化量波动小(即近似于圆柱状)的长硅晶棒时,如说明书附图1所示,放置在支撑组件上的硅晶棒的轴线与硅晶棒的输送方向相对平行,硅棒切斜影响小,在加工误差允许范围内;当所支撑的物料为直径变化量波动大(即近似于两端尺寸不一致的圆台状)的短硅晶棒时,如说明书附图2所示,因常规使用的支撑组件,如锁紧气缸,顶升接触到硅棒后即停止,无法对硅棒的倾斜程度进行感知并进一步调整,从而使放置在支撑组件上的硅晶棒的轴线易与硅晶棒的输送方向形成夹角,使得实际加工时只能达到说明书附图2和附图3中的承托状态,而无法实现说明书附图4和附图5中的理想承托效果,导致所截出的截面亦与硅晶棒的轴线形成夹角,即截出的截面为椭圆形,棒料切斜影响大,进而对硅
...【技术保护点】
1.一种浮动支撑,包括伸缩装置和微动感应器,其特征在于,所述伸缩装置的活动端弹性连接有活动块;
2.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述凹陷结构与凸块的接触面,以及凸块与凹陷结构的接触面均为球面。
3.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述间隙的变化方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
4.根据权利要求3所述的浮动支撑,其特征在于,所述伸缩装置的活动端设有支撑块;
5.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,所述微动感应器的感应端的一部分外露在凸块的外侧;
6.根据权利要求4所述的浮动支撑,其
...【技术特征摘要】
1.一种浮动支撑,包括伸缩装置和微动感应器,其特征在于,所述伸缩装置的活动端弹性连接有活动块;
2.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述凹陷结构与凸块的接触面,以及凸块与凹陷结构的接触面均为球面。
3.根据权利要求1所述的浮动支撑,其特征在于,所述间隙的变化方向与伸缩装置的伸缩方向相平行。
4.根据权利要求3所述的浮动支撑,其特征在于,所述伸缩装置的活动端设有支撑块;
5.根据权利要求4所述的浮动支撑,其特征在于,所述微动感应器的感应端的一部分外露在凸块...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖起韩,李海威,李波,杨华英,林光展,陈钒,张博,何德镜,吴立雄,谢美春,
申请(专利权)人:福建天石源智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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