一种基于电调控的2 µm波段GHz固体锁模器件制造技术

本发明专利技术公开了一种基于电调控的2 µm波段GHz固体锁模器件，属于超快激光技术及半导体器件技术领域，包括高亮度的光纤激光器泵浦源，对泵浦源进行聚焦和准直的光聚焦耦合系统，对聚焦后的激光光束进行透射和反射的第一输入镜，产生及放大激光的增益介质，对聚焦后的激光光束进行反射的第二输入镜和第三输入镜，以及对激光光束进行调制的二维Bi<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;Se电光调制器件。本发明专利技术通过开发低饱和通量、快饱和恢复时间和适中调制深度的二维Bi<subgt;2</subgt;O<subgt;2</subgt;Se电光调制器件，以攻克固体GHz飞秒锁模的技术壁垒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于超快激光技术及半导体器件，尤其涉及一种基于电调控的2µm波段ghz固体锁模器件。

技术介绍

1、2 µm波段吉赫兹（ghz）高重复频率超快激光在大容量自由空间光通信、光频率梳、超高精度分子光谱学和精密聚合物加工等领域具有重要应用前景。例如，作为重要的大气传输窗口之一，该波段对雾、烟尘等具有较强的穿透力，且ghz高重频超快激光能够显著提升光信号处理系统的传输容量，对发展宽带网络“最后一公里”的大容量自由空间光通信技术具有极大的推动作用。

2、产生2 µm波段ghz超短脉冲的途径主要包括以下三种：

3、第一种是通过光参量振荡（opo）等非线性频率变换技术将成熟的1 µm波段ghz超短脉冲变频至2 µm波段。但超快激光发射光谱宽、脉冲持续时间短、峰值功率高的特点，给超快激光泵浦opo过程中严格的相位匹配以及泵浦光与信号光、闲频光的时域精确同步带来了极高的挑战，且极易造成非线性晶体材料的光损伤，导致系统结构复杂、可靠性和寿命低。

4、第二种是基于tm3+、ho3+掺杂的光纤锁模技术。相比于opo技术，该技术可实现由本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于电调控的2 µm波段GHz固体锁模器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述输入镜组包括第一输入镜（4）、第二输入镜（6）和第三输入镜（7）；

3.根据权利要求2所述的器件，其特征在于，所述的第一输入镜（4）和所述第二输入镜（6）均为曲率半径50 mm的凹面镜并且为负色散镜，所述第三输入镜（7）为曲率半径100 mm的凹面镜。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，还包括平面镜（2），所述平面镜（2）用于使所述光纤激光器泵浦源（1）发射的激光光束垂直偏转，所述平面镜（2）相对于所述激光光束方向的45度角度摆...

【技术特征摘要】

1.一种基于电调控的2 µm波段ghz固体锁模器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述输入镜组包括第一输入镜（4）、第二输入镜（6）和第三输入镜（7）；

3.根据权利要求2所述的器件，其特征在于，所述的第一输入镜（4）和所述第二输入镜（6）均为曲率半径50 mm的凹面镜并且为负色散镜，所述第三输入镜（7）为曲率半径100 mm的凹面镜。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，还包括平面镜（2），所述平面镜（2）用于使所述光纤激光器泵浦源（1）发射的激光光束垂直偏转，所述平面镜（2）相对于所述激光光束方向的45度角度摆放。

5.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，还包括光聚焦耦合系统（3），所述光聚焦耦合系统（3）用于对所述光纤激光器泵浦源（1）发射的激光光束进行聚焦和准直，所述光聚焦耦合系统（3）的聚焦比为5：1。

6.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述光纤激光器泵浦源（1）采用波长17...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊亭，赵炳斌，徐孝增，刘善德，
申请(专利权)人：山东科技大学，
类型：发明
国别省市：