【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种上下料设备，尤其涉及一种自动化上下料系统。
技术介绍
1、在制成硅晶片的过程中，将晶棒送入切片设备进行切片(称之为上料)或将完成切片的晶棒从切片设备中取出(称之为下料或取料，所谓的“料”为晶棒或切片后的仍然固定在晶托上的晶片，统称为物料)，往往有两种运送模式：模式一、人工模式：操作工人开着专用小车，通过专用小车上设置的机械手抓取晶棒，由人工操控机械手进行上料或下料(简称上下取料)；模式二、自动化模式：通过自动化手段(如无人小车、输送线配合机器人等自动化设备)实现上下取料。
2、对于人工模式而言，由于每次操作的个体差异大，至少操作效率和安全性难以得到保证，而且在下料过程中经常会出现碎片(即晶片破损)现象，影响晶片合格率，不利于产品的批量化生产。此外，专用小车占用空间较大，降低厂房有效利用率，不利于晶片产品生产成本控制；晶棒被切割后产生的硅雾影响厂房环境，对操作工人身体也有一定的不利影响。
3、对于自动化模式而言，输送线的机械结构复杂，设备体积大，占用现场地面空间大，自动化设备成本高、维修难度大，而且对自动化设备操控精度要求高，不仅不利于晶片产品生产成本控制，而且容易出现上下取料的失败现象，需及时停机排查问题，致使影响生产效率。
4、此外，现有的上下取料手段均是针对切片设备的横向进行上下取料，横向上下取料时，容易出现磕碰现象，从而影响晶片合格率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于解决现有技术存在的上述问题而提供一种自动化上下料系统，通
2、本技术的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：一种自动化上下料系统，其特征在于包括空中轨道，设置在所述空中轨道上的上下取料装置，用于控制所述上下取料装置工作的控制机构，所述上下取料装置包括基座，设置在基座上的上下取料机构，所述上下取料机构包括设置在所述基座上的升降机构和设置在所述升降机构上的取放机构，所述基座上设置移动导向组件，所述移动导向组件使所述基座可在所述空中轨道上移动用于改变上下取料机构的位置，所述升降机构用于使取放机构下降用于向下下料、上升用于复位或向上取料，所述取放机构张开用于放料、收紧用于抓料。
3、通过第三动力驱动机构与轨道配合推动基座移动，使上下取料装置位于切片设备上方自上而下纵向向下向切片设备送入晶棒进行切片、或自下而上从切片设备中纵向取料并通过第三动力驱动机构推动基座将物料移送至合适位置。
4、由于采用了纵向取、放物料的方式，可有效避免物料在取放过程中出现磕碰现象而破损，且轨道和上下取料装置均设置在切片设备上方，避免占用厂房地面空间，有利于提高厂房利用率，有利于避免对操作人员产生干涉影响，且通过各驱动机构使上下取料装置上的相应机构自动化工作，不仅有利于提高工作效率，还有利于提高工作准确率。
5、作为对上述技术方案的进一步完善和补充，本技术采用如下技术措施：
6、作为优选，所述空中轨道至少为两条间隔设置的轨道，至少一条所述空中轨道上设置齿条，所述移动导向组件包括设置在所述基座的底部的导向件、第三齿轮、第二减速器和第二动力源，所述第三齿轮与所述齿条啮合，所述第二动力源和第二减速器配合驱动所述第三齿轮转动带动所述基座在所述空中轨道上移动。
7、作为优选，相邻两所述空中轨道之间设置中间轨道，所述中间轨道中设置开合门，所述开合门和所述空中轨道之间设置用于打开或关闭所述开合门的开合组件，所述开合组件包括分别安装在两所述空中轨道下方的开合门安装座和支承滚轮座，设置在所述开合门安装座上的第三动力源，所述开合门的一侧设置转接块、另一侧设置支承滚轮，所述转接块与所述第三动力源的动力输出轴连接，所述支承滚轮与所述支承滚轮座配合，所述第三动力源使所述开合门沿着所述开合门安装座和支承滚轮座的直线方向移动实现开门和关门的目的。晶棒切片后有适量水附着在晶棒上，附着的水滴落在中间轨道上，通过中间轨道的承接，避免滴落至地面而污染地面或对地面行人带来不利影响。
8、作为优选，所述开合门上设置导水通孔，所述导水通孔的下端用于连接导水管，用于将所述中间轨道上承接的滴水导出。当开合门闭合时，开合门的两端与中间轨道形成连接，中间轨道承接的水流至开合门上，并通过导水通孔导出。
9、作为优选，所述空中轨道上设置缺口定位块和行走硬限位块，所述基座上设置第二接近开关，所述缺口定位块为若干个，其沿着所述空中轨道的长度方向布置的，所述缺口定位块与所述第二接近开关配合用于对所述基座定位，所述行走硬限位块设置在所述空中轨道的两端合适部位。行走硬限位块用于对上下取料装置进行限位，有利于提高工作安全性。缺口定位块和第二接近开关配合用于使基座准确定位在切片装置的合适位置，方便上下取料。
10、作为优选，沿着所述基座移动方向的相对两侧，所述基座上分别设置两组移动导向组件，用于使所述基座沿着空中轨道来回移动。所述移动导向组件包括导向座，设置在所述导向座的底部的导向件，设置在所述导向座上的第三动力驱动机构，所述导向座向外延于所述基座的外侧，用于避让所述上下取料机构，所述第三动力驱动机构用于与轨道配合推动所述基座移动，所述导向件用于与轨道配合进行导向。
11、作为优选，所述上下取料机构为两组，分别设置在所述基座相对的两侧，并与基座移动方向相对应设置。一个基座上设置两组上下取料机构，有利于提高基座利用率，从而面对相同数量的切片设备，有利于减少上下取料装置的数量，有利于控制上下取料装置的成本，进而有利于控制晶片的最终成本，还有利于提高上下取料的工作效率，即，同一基座上的一组上下取料机构用于从切片设备中取料，基座稍作移动后，另一组上下取料机构则可以向切片设备中放料。
12、作为优选，所述升降机构至少包括一级升降架，驱动所述一级升降架纵向移动的一级驱动机构，所述一级升降架和所述基座之间设置一级纵向导向组件，所述一级纵向导向组件用于使所述一级升降架纵向直线移动。当升降机构只设置一级升降架时，取放机构则设置在一级升降架的底部，通过一级升降架下移伸入切片设备的内腔中，通过取放机构取料或放料，当一级升降架下移时，使取放机构离开切片设备的内腔。
13、作为优选，所述一级驱动机构包括第一动力源，通过第一减速器与所述第一动力源配合的丝杆，设置在所述一级升降架上的丝杆螺母，所述第一动力源和第一减速器配合用于驱动所述丝杆转动，所述丝杆与丝杆螺母配合，使所述一级升降架上升或下降。丝杆、丝杆螺母以及第一减速器的配合，能够精准控制一级升降架上移或下移动的精度，实现精准取放物料的目的。
14、作为优选，为了进一步提高控制精准性和提高安全性本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种自动化上下料系统，其特征在于包括空中轨道(40)，设置在所述空中轨道(40)上的上下取料装置，用于控制所述上下取料装置工作的控制机构(51)，所述上下取料装置包括基座(1)，设置在基座(1)上的上下取料机构，所述上下取料机构包括设置在所述基座(1)上的升降机构和设置在所述升降机构上的取放机构，所述基座(1)上设置移动导向组件，所述移动导向组件使所述基座(1)可在所述空中轨道(40)上移动用于改变上下取料机构的位置，所述升降机构用于使取放机构下降用于向下下料、上升用于复位或向上取料，所述取放机构张开用于放料、收紧用于抓料。
2.根据权利要求1所述的自动化上下料系统，其特征在于所述空中轨道(40)至少为两条间隔设置的轨道，至少一条所述空中轨道(40)上设置齿条(41)，所述移动导向组件包括设置在所述基座(1)的底部的导向件(18)、第三齿轮(19)、第二减速器(20)和第二动力源(21)，所述第三齿轮(19)与所述齿条(41)啮合，所述第二动力源(21)和第二减速器(20)配合驱动所述第三齿轮(19)转动带动所述基座(1)在所述空中轨道(40)上移动。
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