基于第一性原理对变温半导体器件中SiC电学特性分析方法技术

技术编号:43972442 阅读:39 留言:0更新日期:2025-01-10 20:00
本发明专利技术公开了基于第一性原理对变温半导体器件中SiC电学特性分析方法,属于半导体材料性能分析技术领域,包括:设定参数和建立模型;模拟SiC在不同温度下的晶格畸变,并计算内聚能评估稳定性;分析晶格畸变对SiC态密度和电荷密度的影响;模拟SiC中硅缺陷和碳缺陷的生成,并计算其对SiC内聚能、态密度和电荷密度的影响;评估SiC在变温环境下的电学性能变化规律。本发明专利技术能够系统地研究SiC在不同温度下的晶格畸变和原子缺陷对其电学性能的影响,揭示了SiC在变温环境下的电学性能变化规律,为SiC在高温、高密度热流环境下的应用提供理论依据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及半导体材料性能分析,具体为基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法。


技术介绍

1、随着信息技术的快速发展,特别是在5g通信、大功率电力电子等领域,对半导体材料的性能提出了更高要求。sic作为第三代宽禁带半导体材料的代表,因其宽带隙、高临界击穿电场、高电子饱和漂移速度等优异特性,在电子功率器件、陶瓷材料等方面展现出巨大的应用潜力。然而,在以5g通信为代表的新一代信息技术中,相比以往成倍增长的高密度热流的散热问题愈加突出。sic材料在实际使用过程中,温度对其电学性能的影响尚不明确,这限制了其在高温环境下的广泛应用。


技术实现思路

1、本专利技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题,提供了显著不同于现有技术的解决方案,主要提供了基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,用以解决上述
技术介绍
中提出的sic材料在实际使用过程中,温度对其电学性能的影响尚不明确的技术问题。

2、本专利技术解决上述技术问题采用的技术方案为:

>3、基于第一性原理本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于第一性原理对变温半导体器件中SiC电学特性分析方法,其特征在于:包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的基于第一性原理对变温半导体器件中SiC电学特性分析方法,其特征在于:步骤S1中,参数设定包括:动能截断设置为450eV;能量收敛标准为两个电子步之间的能量差值小于10-5eV;结构优化时两个离子步间的海尔曼费曼力残留小于0.02eV/Å;温度展宽设置为0.1eV;结构优化时使用5×5×3的Gamma-centered K点,计算态密度时使用7×7×5的Gamma-centered K点。

3.根据权利要求1所述的基于第一性原理对变温半导体器件中SiC电学...

【技术特征摘要】

1.基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,其特征在于:包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,其特征在于:步骤s1中,参数设定包括:动能截断设置为450ev;能量收敛标准为两个电子步之间的能量差值小于10-5ev;结构优化时两个离子步间的海尔曼费曼力残留小于0.02ev/å;温度展宽设置为0.1ev;结构优化时使用5×5×3的gamma-centered k点,计算态密度时使用7×7×5的gamma-centered k点。

3.根据权利要求1所述的基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,其特征在于:使用维也纳从头算仿真软件包进行dft计算。

4.根据权利要求1所述的基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,其特征在于:步骤s2中,设立晶格收缩30%至扩张30%的形变,每5%为一档来模拟由于较宽范围内温度变化产生的晶格畸变,分析态密度和带隙变化。

5.根据权利要求4所述的基于第一性原理对变温半导体器件中sic电学特性分析方法,其特征在于:步骤s2中,计算统计各档晶格畸变sic在不同方向产生晶格畸变时内聚能变化,确定在不同方向产生晶格...

【专利技术属性】
技术研发人员:李顺佟立凯彭士涛齐兆宇于迅邓孟涛肖令
申请(专利权)人:交通运输部天津水运工程科学研究所
类型:发明
国别省市:

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