【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及研磨抛光液回收设备，具体涉及一种研磨布渣回收网装置。
技术介绍
1、由于研磨液要回收利用，所以回收管道一般位于研磨液低落的侧下方，这样可以最大程度有效回收且不会将杂质带入回收管路影响研磨液质量。本机器由于空间太小，导致当初设计结构有缺陷，即回收管道位于研磨布而不是研磨液的正下方，这样抛光后产生的抛光布渣、碎屑等会落入研磨液回收管道。
2、由于机器部件的设计位置，导致研磨工艺中存在研磨布渣和研磨液结晶会频繁堵塞研磨液回收管道的问题,堵塞较多会导致研磨液无法回收或将杂质带入研磨液（导致研磨液更换频次加快，成本升高），直接后果导致机器报警停止生产，间接或将影响产品质量。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种研磨布渣回收网装置，其具有结构简单、效果好和运行稳定性高的优点。解决了研磨布渣堵塞回收管道的问题。提高回收液的质量，减少更换研磨液频次。减少堵塞引起的频繁报警维修。
2、本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决
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【技术保护点】
1.一种研磨布渣回收网装置，包括抛光机箱（1），所述的抛光机箱（1）内设有磨盘（2），所述的磨盘（2）外圆上设有与磨盘（2）相嵌套的抛光布（3），其特征在于：所述的抛光机箱（1）下端设有与抛光机箱（1）相连通的回收管（4），所述的回收管（4）内或上端设有回收过滤组件（5）。
2.根据权利要求1所述的研磨布渣回收网装置，其特征在于：所述的回收过滤组件（5）包括滤网片（6），所述的滤网片（6）与回收管（4）间设有隔网塞（7）。
3.根据权利要求1所述的研磨布渣回收网装置，其特征在于：所述的回收过滤组件（5）包括漏液套（8），所述的漏液套（8）下端设...
【技术特征摘要】
1.一种研磨布渣回收网装置，包括抛光机箱（1），所述的抛光机箱（1）内设有磨盘（2），所述的磨盘（2）外圆上设有与磨盘（2）相嵌套的抛光布（3），其特征在于：所述的抛光机箱（1）下端设有与抛光机箱（1）相连通的回收管（4），所述的回收管（4）内或上端设有回收过滤组件（5）。
2.根据权利要求1所述的研磨布渣回收网装置，其特征在于：所述的回收过滤组件（5）包括滤网片（6），所述的滤网片（6）与回收管（4）间设有隔网塞（7）。
3.根据权利要求1所述的研磨布渣回收网装置，其特征在于：所述的回收过滤组件（5）包括漏液套（8），所述的漏液套（8）下端设有与漏液套（8）呈一体化嵌套的底网板（12）。
4.根据权利要求3所述的研磨布渣回收网装置，其特征在于：所述的漏液套（8）上端设有滤网盘（9），所述的滤网盘（9）...
【专利技术属性】
技术研发人员：万琨，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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