【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子枪，尤其涉及一种电子枪线束的断裂检测方法、装置及系统。
技术介绍
1、在半导体制造业中，电子束扫描测量技术因其高灵敏度和能够检测到光学检查设备无法发现的缺陷而变得越发重要。电子束扫描测量仪通过对热场电子枪灯丝阴极施加加热电流以达到其额定工作温度后，对灯丝施加抽取电压使其内部的大量自由电子逃逸，再施加抑制电压将自由电子形成电子束流。该电子束流可被数个高压电场牵引和加速，用于轰击被测样品，从而能够激发出二次电子，并通过收集和分析这些二次电子来捕捉缺陷。
2、上述电子束扫描测量仪的加热电流，抽取电压，抑制电压和高压电场由电子枪高压电源提供。通常该高压电源占用空间大且沉重难以搬运，无法直接安装在真空腔体上，必须通过高压线束来连接灯丝和各高压线圈。这些电子枪高压线束往往需要特别设计，通常使用将至少10股铜线绞成1根的内芯，加上半径3毫米以上的绝缘层，以及包裹屏蔽线来满足载流3a和耐压20kv的要求。在实际使用场景上，这些高压线束往往长1-3米，且足够柔软可以被捆在一起，贴合固定在扫描测量仪的外壳内侧。
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【技术保护点】
1.一种电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，调节施加至电子枪线束的测试电流，包括：
3.根据权利要求2所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，根据所述测试电流和所述实际电流确定所述电子枪线束的断裂程度，包括：
4.根据权利要求3所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，当所述实际电流根据所述测试电流增大而增大或所述实际电流根据所述测试电流减小而减小时，则进入待诊断状态，包括：
5.一种电子枪线束的断裂检测装置，其特征在于，执行权利要求1～4所述...
【技术特征摘要】
1.一种电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，调节施加至电子枪线束的测试电流，包括：
3.根据权利要求2所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，根据所述测试电流和所述实际电流确定所述电子枪线束的断裂程度，包括：
4.根据权利要求3所述的电子枪线束的断裂检测方法，其特征在于，当所述实际电流根据所述测试电流增大而增大或所述实际电流根据所述测试电流减小而减小时，则进入待诊断状态，包括：
5.一种电子枪线束的断裂检测装置，其特征在于，执行权利要求1～4所述的电子枪线束的断裂检测方法，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄钧宇，相宇阳，耿晓杨，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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