一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系统及运行方法技术方案

本发明专利技术提出一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系统及运行方法，其中系统包括动子组件和定子组件，动子组件包括动子平台(1‑2)、线圈(1‑1)和线性霍尔传感器(3‑1)；定子组件包括Halbach永磁体阵列(1‑3)和基础平台。本发明专利技术采用线性霍尔传感器阵列取代常用的激光测距仪来测量动子的相对位置，测量范围不受行程限制；采用霍尔传感器矩阵的形式除了测量位移还可检验动子相对定子有无转角，同组5个霍尔传感器相互检验，数据可靠性更高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系统及运行方法，属于磁悬浮运动台。

技术介绍

1、自20世纪90年代以来，电子信息产业快速发展成为带动世界经济增长的战略性产业。以集成电路为核心的各种半导体器件制造是电子信息产业的基础和主导。精密仪器制造对加工设备的要求越来越高，其中定位精度的高低直接影响到待加工尺寸的精度，提高定位精度不仅可以通过提高传感器的精度与分辨力等，还可以通过路径预测来实现。由于磁悬浮系统具有非接触式特性，因此在清洁环境系统、高精度定位和高速运输系统中被广泛使用。基于以上背景，针对磁悬浮运动台定位精度的研究具有一定发展前景。

2、霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器，广泛用于电磁、压力、加速度、振动等方面的测量。其特点是体积小、功耗小、寿命长、安装方便，耐腐蚀和污染，不仅适用于动铁式磁悬浮运动台而且适用于动圈式磁悬浮平台负载重量小且具有线缆干扰的情况。相比较激光传感器通过距离或位移定位来说，霍尔传感器是基于磁浮运动台的定子或动子中固有的永磁体结构产生的磁感应强度来测量位置，因此具有更广的测量范围，且结构与安装方式相对简单本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述用于Halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统的结构包括动子组件和定子组件；

2.根据权利要求1所述的用于Halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述线圈(1-1)分为三组，线性霍尔传感器(3-1)组成5×5的霍尔传感器矩阵，霍尔传感器矩阵安装在动子平台(1-2)上，霍尔传感器矩阵内的相邻两个线性霍尔传感器(3-1)的间距为磁铁阵列周期的四分之一。

3.根据权利要求1所述的用于Halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述Halbach永磁体阵列(1-3)上设有动子平台...

【技术特征摘要】

1.一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述用于halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统的结构包括动子组件和定子组件；

2.根据权利要求1所述的用于halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述线圈(1-1)分为三组，线性霍尔传感器(3-1)组成5×5的霍尔传感器矩阵，霍尔传感器矩阵安装在动子平台(1-2)上，霍尔传感器矩阵内的相邻两个线性霍尔传感器(3-1)的间距为磁铁阵列周期的四分之一。

3.根据权利要求1所述的用于halbach磁浮台运动定位的霍尔传感器系统，其特征在于，所述halbach永磁体阵列(1-3)上设有动子平台(1-2)，每组线圈(1-1)垂直安装在动子平台(1-2)上。

4.一种用于磁浮台运动定位的霍尔传感器系...

【专利技术属性】
技术研发人员：于程隆，冉明，李娜，李兆元，赵勃，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：