Mini LED芯片分选方法及系统技术方案

技术编号:43911000 阅读:12 留言:0更新日期:2025-01-03 13:19
本发明专利技术公开了一种Mini LED芯片分选方法及系统,涉及芯片分选技术领域,所述方法包括:对晶圆中的晶粒进行抽测,以生成测试数据;根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据,以使所述晶圆中的所有晶粒均对应有测试数据;对所述晶圆进行切割处理,以将所述晶圆中的晶粒切割成芯片;对所述晶圆进行扩张处理,以扩大所述芯片的间隔;对所述晶圆进行AOI检测,以生成检测数据;根据所述测试数据及检测数据对所述晶圆中的芯片进行分选处理,以将所述芯片分类至对应的等级;对所述晶圆进行目检处理,以识别分选后的所述芯片的外观缺陷。采用本发明专利技术,可实现异常晶粒的有效卡控,让异常晶粒在厂内卡住,减少晶粒异常PPM值,减少客户投诉,提高产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片分选,尤其涉及一种mini led芯片分选方法及系统。


技术介绍

1、随着产能要求越来越高,mini led产品量产化,led芯片制造行业内都是采用抽测方式对晶圆进行检测,故晶圆中没有记载每颗晶粒的测试数据,只有部分晶粒的抽测数据。因此,在后道工序分选当中,对产品低亮度、高电压、破损、短边、蓝痕等异常晶粒无法做到100%挑除,从而导致异常晶粒流入客户端,产生客户投诉。

2、同时,通过aoi检测晶粒外观时,由于aoi机台技术有限,容易出现漏检现象,无法输出所有晶粒的外观数据,更无法卡住外观异常的小尺寸晶粒,只能依靠后道人工目检通过目检方式吸除异常晶粒,费时费力效率低,且手动吸不干净,会对产品产生二次伤害。

3、因此,如何提升mini led芯片的分选精度已成为亟待解决的问题。


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题在于,提供一种mini led芯片分选方法及系统,可实现异常晶粒的有效卡控,提高产品的出厂品质。

2、为了解决上述技术问题,本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种Mini LED芯片分选方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的Min i LED芯片分选方法,其特征在于,所述对晶圆中的晶粒进行抽测的步骤包括:

3.如权利要求2所述的Min i LED芯片分选方法,其特征在于,所述根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据的步骤包括:

4.如权利要求3所述的Min i LED芯片分选方法,其特征在于,所述根据相邻两个基准晶粒的测试数据,计算相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的测试数据的步骤包括:

5.如权利要求1所述的Min i LED芯片分选方法,其特征在于,所述测试数据包括电性数据及光性数...

【技术特征摘要】

1.一种mini led芯片分选方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的min i led芯片分选方法,其特征在于,所述对晶圆中的晶粒进行抽测的步骤包括:

3.如权利要求2所述的min i led芯片分选方法,其特征在于,所述根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据的步骤包括:

4.如权利要求3所述的min i led芯片分选方法,其特征在于,所述根据相邻两个基准晶粒的测试数据,计算相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的测试数据的步骤包括:

5.如权利要求1所述的min i led芯片分选方...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱兵兵郭磊董国庆文国昇金从龙
申请(专利权)人:江西耀驰科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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