【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及洁净度检测，尤其涉及一种夹具污染程度的检测控制方法。
技术介绍
1、光掩膜基板制作过程中需要在洁净的玻璃基板上采用磁控溅射或蒸发镀膜等方式镀一层铬膜，而玻璃基板的洁净的效果直接影响了镀膜针孔漏光及膜层的致密性。在清洗过程中最重要的目的是处理玻璃表面的颗粒，其前提是槽体及部件本身没有污染。而实际上设备在运转过程中，颗粒的产生由多方面原因造成，如玻璃基板上颗粒的脱落未能及时自洁而造成的污染、停机后设备潮湿部件滋生的细菌、设备运转过程中摩擦等原因造成的污染，一般情况下需要定期进行人工清理。另外一个方面，随着新技术的推进，在多槽式连体清洗设备的纯水漂洗的部分安装在线式的电导率测试仪和颗粒测试仪，能时刻监控漂洗槽的电导率及颗粒情况，根据电导率的大小及颗粒测试的数据来判断槽体的残留或污染情况。
2、这种方式能及时地监控整个槽体的污染情况，但污染源无法判断，而槽体又比较复杂，通常情况下循环及进水管道、气体、槽体内壁、过滤器、清洗篮及清洗篮夹具等均是潜在的污染源，所采取的措施主要以尝试性的换水、卫生处理等方式为主。如果没有在线...
【技术保护点】
1.一种夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述超声波的音压强度范围为0.1-0.2mv。
3.根据权利要求1所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，对所述夹具进行分类，根据所述夹具的材质不同分为耐高温、耐强酸、耐弱酸三类。
4.根据权利要求3所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述夹具的材质为耐高温材质，则对所述受污染的夹具采用高温烘烤方式进行处理。
5.根据权利要求4所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述高...
【技术特征摘要】
1.一种夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述超声波的音压强度范围为0.1-0.2mv。
3.根据权利要求1所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，对所述夹具进行分类，根据所述夹具的材质不同分为耐高温、耐强酸、耐弱酸三类。
4.根据权利要求3所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述夹具的材质为耐高温材质，则对所述受污染的夹具采用高温烘烤方式进行处理。
5.根据权利要求4所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述高温烘烤的温度为140-200℃，所述高温烘烤的时间为10-30min。
6.根据权利要求3所述的夹具污染程度的检测控制方法，其特征在于，所述夹具的材质为耐强酸材质，则对所述受污染的夹具进行...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐根，李伟，杨旭，李翼，
申请(专利权)人：湖南普照信息材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。