一种三维叠层成像方法、装置、终端及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术所提供的一种三维叠层成像方法、装置、终端及存储介质，所述方法包括：获取光学元件参数，利用光学元件参数配置目标光学元件；沿着光路依次部署光源、目标光学元件、样品和二维探测器；当光源发出光线后，生成目标光斑并照射到样品上，控制样品按照预设方式平移，以得到样品的多个衍射信号，目标光斑中包含多个入射角度的平行光；生成样品的三维重建图像。本发明专利技术通过利用目标光学元件生成包含多个入射角度的平行光目标光斑，并控制样品按照预设方式平移，使得不同区域的样品依次受到目标光斑的照射，从而生成多个包含样品不同部位信息的衍射信号，可避免旋转样品来多角度的收集衍射图样，有效减少了数据采集时长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及三维重建，尤其涉及的是一种三维叠层成像方法、装置、终端及存储介质。

技术介绍

1、三维叠层成像作为一种超高分辨的三维成像方法，是目前研究样品三维微观形貌的重要方法。基于叠层成像的三维成像方法主要包括叠层-ct成像(pxct)、叠层-层析成像(pyxl)等方法，叠层-ct成像(pxct)方法和叠层-层析成像(pyxl)方法均是采用二维叠层与三维成像相结合的方式，需要通过旋转样品获得几十个不同角度的扫描衍射图样。基于叠层成像的三维成像方法的重建过程分为两步：首先，针对每个特定的角度，可以通过二维叠层成像的相位恢复算法重建出样品二维投影图像。然后，使用ct重建算法对不同角度的二维投影图像进行处理，重建出样品的三维结构信息。此种方式为了准确的重建三维图像，需要收集足够多角度的衍射图样，这使得三维扫描相干衍射成像的数据采集时间较长。

2、因此，现有技术存在缺陷，有待改进与发展。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种三维叠层成像方法、装置、终端及存储本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三维叠层成像方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述光学元件参数的生成方法包括：

3.根据权利要求2所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述目标光斑的所述预设尺寸满足奈奎斯特-香农采样定理，所述奈奎斯特-香农采样定理的公式为其中，D表示预设尺寸，λ表示光源波长，z表示样品到探测器距离，Δd表示探测器像素尺寸。

4.根据权利要求2所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述目标分辨率为横向分辨率和深度分辨率中任一项；所述基于所述光源波长和所述目标分辨率进行处理，得到目标光斑的最大衍射角度，包括：...

【技术特征摘要】

1.一种三维叠层成像方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述光学元件参数的生成方法包括：

3.根据权利要求2所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述目标光斑的所述预设尺寸满足奈奎斯特-香农采样定理，所述奈奎斯特-香农采样定理的公式为其中，d表示预设尺寸，λ表示光源波长，z表示样品到探测器距离，δd表示探测器像素尺寸。

4.根据权利要求2所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述目标分辨率为横向分辨率和深度分辨率中任一项；所述基于所述光源波长和所述目标分辨率进行处理，得到目标光斑的最大衍射角度，包括：

5.根据权利要求1所述的三维叠层成像方法，其特征在于，所述基于全部所述二维衍射图样利用梯度下降法重建信号，得到样品的三维图像数据，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢振江，杨川，张未卿，刘亦帆，朱晔，吴宸，胡凯，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：