【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，更具体地说，涉及一种基于平面半导体工艺的六维力传感器及其制备方法。
技术介绍
1、近年来，随着智能机器人逐渐成为机器人发展领域的主流，使之实现智能化的关键部件，六维力传感器的研究与发展也逐渐变得重要起来。在机器人行业中，大多数的工业机器人依然停留在依靠位置控制来完成工作，如典型的生产机械臂。六维力传感器作为机器人与外界交互重要的信息感知元件，为实现机器人力控提供了关键的感知信息，这对于机器人在复杂工况下进行高精度作业，及其柔顺化和智能化的推进起到关键作用。六维力传感器是一类能够同时检测x、y、z三轴方向的力（即fx、fy、fz）和绕这三个坐标轴方向的力矩（即mx、my、mz）的传感器。它通过精密设计的弹性体和信号调理电路，实时测量并反馈三维空间中的六个独立力和力矩分量，确保测量结果的全面性和准确性。
2、六维力传感器的工作原理基于物理变形与电信号转换。以电阻应变式传感器为例，当弹性体受到外力作用时，会发生形变，这种形变导致贴在弹性体上的应变片的电阻值发生变化。通过测量电阻值的变化，可以推算出外力和力矩的...
【技术保护点】
1.一种基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，包括中心承载台、外壳、弹性梁以及缓冲梁；所述弹性梁的一端连接于所述中心承载台，所述弹性梁的另一端连接于所述缓冲梁，所述缓冲梁与所述弹性梁正交设置，所述缓冲梁背离所述弹性梁的端部连接于所述外壳；
2.如权利要求1所述的基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，还包括信号采集模块和终端，六组所述惠斯通全桥电路分别与所述信号采集模块的输入端电连接，所述信号采集模块的输出端电连接于所述终端。
3.如权利要求2所述的基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，所述终端采用基于多载荷步的最小二乘法
【技术特征摘要】
1.一种基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，包括中心承载台、外壳、弹性梁以及缓冲梁；所述弹性梁的一端连接于所述中心承载台，所述弹性梁的另一端连接于所述缓冲梁，所述缓冲梁与所述弹性梁正交设置，所述缓冲梁背离所述弹性梁的端部连接于所述外壳；
2.如权利要求1所述的基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，还包括信号采集模块和终端，六组所述惠斯通全桥电路分别与所述信号采集模块的输入端电连接，所述信号采集模块的输出端电连接于所述终端。
3.如权利要求2所述的基于平面半导体工艺的六维力传感器，其特征在于，所述终端采用基于多载荷步的最小二乘法线性矩阵解耦。
4.如权利要求1所述的基于平面半导体工艺的六维力...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈君杰，楚国富，李嘉欣，黄宇，
申请(专利权)人：深圳安培龙科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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