【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别是涉及一种灯退火机的灯管检测结构。
技术介绍
1、近年来，可以实现快速加热和冷却的灯退火装置已经被用于在半导体晶片上形成氧化物膜或氮化物膜。amat centura快速灯退火机，因升/降温度快，均匀性好，时间短被广泛利用。但是其特性问题使用灯管加热温度高升温速率快和跑片数量多反复给灯丝加压会导致灯管老化加速损坏更换频率高。
2、当灯管灯丝损坏时，机台设备会有提示，如内圈重要zone的灯管损坏时(1-2组)会直接无法作业，外圈会显示红色当到一定数量后(3组)会产生报警无法作业。每次更换完损坏灯管后又会有别的灯管损坏，因为那些灯管灯丝虽然未断但也已经老化严重无法长久使用影响其升温速度，肉眼无法确认其老化问题，会加大设备维护保养次数以及机台稳定性，减少机台uptime。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种灯退火机的灯管检测结构，能够提高实时侦测其灯管状态，工艺均匀性问题也能通过其电流排查出问题点等。
2、为解决上述技术问...
【技术保护点】
1.一种灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，包括灯模块和与之电性连接的电源端，所述灯模块包括安装板和与之配合安装的端盖，所述安装板上至少安装有一组灯组，所述灯组和电源端的回路上设置有检测模块。
2.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，还包括警示模块，所述检测模块将信号输送到所述警示模块。
3.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯组外罩有灯罩，所述灯罩外端口安装有密封模块。
4.根据权利要求3所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述密封模块包括夹紧环、窗体，所述窗体通过所述夹紧环固定...
【技术特征摘要】
1.一种灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，包括灯模块和与之电性连接的电源端，所述灯模块包括安装板和与之配合安装的端盖，所述安装板上至少安装有一组灯组，所述灯组和电源端的回路上设置有检测模块。
2.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，还包括警示模块，所述检测模块将信号输送到所述警示模块。
3.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯组外罩有灯罩，所述灯罩外端口安装有密封模块。
4.根据权利要求3所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述密封模块包括夹紧环、窗体，所述窗体通过所述夹紧环固定于所述灯罩外端口。
5.根据权利要求4所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯罩与所述夹紧环之间安装有密封件。
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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