【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体检测，具体涉及一种无尘室气体污染在线监测方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、无尘室内的空气品质要求达离子级别，但由无尘室新风入口进入的污染和无尘室内部生产使用的化学品及特殊气体产生的污染会显著污染无尘室空气，造成产品的品质下降甚至报废，若无法及时监控污染物质，在长时间的污染下，将造成对大规模量产产品的毁灭性打击，同时也会造成无尘室环境永久无法复原。
2、目前，大多无尘室采取采集空气样本再送至实验室分析检验的监控方式，然而该种方式存在采集空气样本的难度高、采样瓶易被污染、采样后无法及时分析检验、检验等待时间过长等不足，易造成结果的失真和及时性降低，显著影响无尘室的工作开展，且检测后缺乏有效手段定位污染源头并遏制无尘室污染继续恶化。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的上述问题，本专利技术提供了一种无尘室气体污染在线监测方法、装置、设备及介质。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种无尘室气体污染在线监测方法，所述...
【技术保护点】
1.一种无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述无尘室气体污染在线监测方法的实施包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述采集无尘室气体样本包括：
3.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述通过所述无尘室气体样本获取无尘室待测溶液包括：
4.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述根据所述无尘室污染物含量输出无尘室污染指令包括：
5.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述通过改进气体源定位法得到无尘室...
【技术特征摘要】
1.一种无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述无尘室气体污染在线监测方法的实施包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述采集无尘室气体样本包括：
3.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述通过所述无尘室气体样本获取无尘室待测溶液包括：
4.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述根据所述无尘室污染物含量输出无尘室污染指令包括：
5.根据权利要求1所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述通过改进气体源定位法得到无尘室气体污染源头包括：
6.根据权利要求5所述的无尘室气体污染在线监测方法，其特征在于，所述在无尘室内随机选取起始检测点，通...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁红伟，陈晖，李雨庭，骆晓庆，
申请(专利权)人：上海亿鼎技术集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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