【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热器，尤其涉及一种双区高温加热器。
技术介绍
1、在晶圆制造领域，等离子去胶和等离子刻蚀工艺前需使晶圆达到某种设定温度，再进行工艺处理；常规方式为加热器加热到一定温度，晶圆放置于加热器上表面，通过热传导加热晶圆，使晶圆达到设定温度可以进行工艺测试；在现有的工艺要求中也会出现高温的情况，加热器加热温度需达到700度以上，常规高温加热器使用的是单区加热(如图7)，通过2根导电柱联通中间加热元件a实现高温加热，单区加热容易出现中间区域与边缘区域温差大的情况，从而导致工艺的均匀性及稳定性差。因此，研发一种双区高温加热器，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本技术是为了解决上述不足，提供了一种双区高温加热器，使加热器中部及外部的温度可单独控制，减少内外的温度差，提高工艺的均匀性及稳定性，同时内部配有吹扫气道，防止加热元件氧化。
2、本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种双区高温加热器，包括加热器本体，所述加热器本体上设有中部加热区和外部加热区，中部加...
【技术保护点】
1.一种双区高温加热器，包括加热器本体，其特征在于：所述加热器本体上设有中部加热区和外部加热区，中部加热区和外部加热区内部设有中部加热元件槽和外部加热元件槽，并分别安装有中部加热元件和外部加热元件，中部加热元件和外部加热元件均连接有导电柱。
2.根据权利要求1所述的一种双区高温加热器，其特征在于：所述中部加热元件和外部加热元件由金属材料或者非金属材料制成。
3.根据权利要求2所述的一种双区高温加热器，其特征在于：所述金属材料为钨、钼、铼或钛。
4.根据权利要求2所述的一种双区高温加热器，其特征在于：所述非金属材料为石墨或碳化硅。p>
5.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种双区高温加热器，包括加热器本体，其特征在于：所述加热器本体上设有中部加热区和外部加热区，中部加热区和外部加热区内部设有中部加热元件槽和外部加热元件槽，并分别安装有中部加热元件和外部加热元件，中部加热元件和外部加热元件均连接有导电柱。
2.根据权利要求1所述的一种双区高温加热器，其特征在于：所述中部加热元件和外部加热元件由金属材料或者非金属材料制成。
3.根据权利要求2所述的一种双区高温加热器，其特征在于：所述金属材料为钨、钼、铼或钛。
4.根据权利要求2所述的一种双区高温加热器，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭帆，
申请(专利权)人：上海稷以科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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