一种微半球振动性能快速筛选装置及筛选方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微半球谐振子振动性能的快速筛选装置及方法，包括：微半球谐振子快速粘固到工件安装模块上；检测模块预设定测试圆并均布测试点，施加周期性线性啁啾信号，通过检测模块检测谐振子端面位置处的振动信号，获得工作模态谐振频率f1、f2和频率裂解△f并判定是否合格；将激励信号改为分别以工作模态谐振频率f1和f2为中心自定义正弦扫频信号，扫频时测试测试点1和测试点2的位移，当位移达到最大值时，断开激励信号，通过衰减信号分别测试Q值为Q1和Q2，其中测试点2与测试点1的圆心角为45°；分别计算微半球谐振子的平均Q值和Q值不均△Q，将测试结果与筛选预设值进行比较并判定是否合格。本发明专利技术实现了快速准确测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微半球谐振陀螺领域，涉及石英微半球谐振子的振动性能的测试方法，具体涉及一种微半球谐振子振动性能的快速筛选装置及筛选方法。

技术介绍

1、微半球谐振陀螺是发展前景最好的振动式mems陀螺仪之一，微半球谐振陀螺仪的主要敏感部件是微半球谐振子，用于敏感角速度信息，谐振子的频率、频率裂解、q值(品质因数)和q值不均是制约陀螺性能的关键因素。目前熔融石英微半球谐振子成型加工工艺主要包括高温旋转吹制工艺和谐振子释放工艺，这两种工艺很容易形成批量生产且加工成本较低，然而由于加工的个体差异性，谐振子性能并不总是可以满足使用的要求，这对测试微半球谐振子的振动性能并据此快速筛选出性能合格的工件提出了很大的挑战。

2、目前普遍采用非接触的方式测试谐振子振动性能，可以减小对谐振子本身的影响。微半球谐振子的激励方式则比较多样，有的使用激励电控装置将激励探针移动抵触至微半球谐振子球面，使谐振子产生一定形变后再控制激励探针离开微半球谐振子球面，由于微半球谐振子为薄壁工件，这种激励方式容易导致工件出现损伤；有的直接通过扫频仪产生正弦扫频信号激励谐振子，由于难以预本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于微半球谐振子振动性能筛选装置，其特征在于：包括工件安装模块、真空模块、激励模块、检测模块、性能对比校验模块；

2.一种基于权利要求1所述的用于微半球谐振子振动性能筛选装置的筛选方法，其特征在于，包括如下步骤：

【技术特征摘要】

1.一种用于微半球谐振子振动性能筛选装置，其特征在于：包括工件安装模块、真空模块、激励模块、检测模块、性能对比校验模...

【专利技术属性】
技术研发人员：王妍妍，赵丙权，崔云涛，李世杨，田纪遨，韦路锋，李金，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所，
类型：发明
国别省市：