【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及烘干塑形装置,尤其涉及一种单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置。
技术介绍
1、单片式晶圆清洗机是一种专用于半导体制造过程中晶圆清洗的设备,在生产单片式晶圆清洗机时需要对其中的塑料零部件进行烘干塑形,塑形通过注塑机进行注塑成型,而烘干通过烘干筒进行,传统的烘干筒原料堆积在一起,导致烘干效率低。
2、现有技术cn214773235u公开一种注塑机烘干筒装置,包括:烘干筒体,所述烘干筒体外侧壁安装有气泵,所述气泵的进气端连通有吸气管,所述气泵的排气端连通有排气管,所述排气管远离气泵的一端连通有环形管,所述环形管位于烘干筒体的下方,所述环形管的外侧壁顶部连通有四个呈环形设置的连管,所述连管远离环形管的一端安装有第一过滤网,所述连管远离环形管的一端连通于烘干筒体的外侧壁,所述烘干筒体的内部通过支架安装有加热杆;在注塑机烘干筒的外部添加了气泵,通过气泵吸取空气,并通过环形管和连管将空气从烘干筒体的底部均匀的排入烘干筒体内部,从而可以均匀的吹动烘干筒体内部的原料,增加原料的受热面积,从而提高烘干效率。
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【技术保护点】
1.一种单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,包括注塑机本体和烘干筒,所述烘干筒安装在所述注塑机本体上,并与所述注塑机本体的进料口连通,其特征在于,
2.如权利要求1所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
3.如权利要求2所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
4.如权利要求3所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
5.如权利要求4所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
6.如权利要求4所述的单片式
...【技术特征摘要】
1.一种单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,包括注塑机本体和烘干筒,所述烘干筒安装在所述注塑机本体上,并与所述注塑机本体的进料口连通,其特征在于,
2.如权利要求1所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
3.如权利要求2所述的单片式晶圆清洗机塑料零部件生产用烘干塑形装置,其特征在于,
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【专利技术属性】
技术研发人员:施超,
申请(专利权)人:苏州羽美尚精密机械有限公司,
类型:发明
国别省市:
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