晶体直径预测方法、装置、设备、存储介质及产品制造方法及图纸

本申请公开了一种晶体直径预测方法、装置、设备、存储介质及产品，公开的晶体直径预测方法包括：获取当前拉晶数据；将当前拉晶数据输入至预设数据驱动模型，预设数据驱动模型通过对实际场景中的多个实际拉晶数据和对应的实际晶体直径进行训练所得到，用于表征拉晶数据与晶体直径之间的对应关系；接收数据驱动模型基于当前拉晶数据反馈的晶体直径预测值。由于本申请的预设数据驱动模型通过对实际拉晶数据和实际晶体直径进行训练得到，因此，该预设数据驱动模型能够学习到实际场景中单晶硅生长的规律和模式，进而基于该预设数据驱动模型所得到的晶体直径预测值准确性较高，能够为控制算法的设计提供有效策略。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及单晶硅，尤其涉及一种晶体直径预测方法、装置、设备、存储介质及产品。

技术介绍

1、直拉法单晶硅生长过程建模是拉晶控制技术开发的首要问题，通过建立一个准确的描述晶体生长过程的模型，能够预测晶体直径，为控制算法的设计提供策略。

2、目前，现有方式基于单晶硅的生长机理建立数学机理模型。但是，数学机理模型在建立过程中理想假设条件较多，使得该数学机理模型与实际场景中单晶硅生长的规律和模式存在较大的差异，导致模型预测的晶体直径准确性较差，无法为控制算法的设计提供有效策略。

3、上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供了一种晶体直径预测方法、装置、设备、存储介质及产品，旨在解决现有技术与实际场景中单晶硅生长的规律和模式存在较大的差异，导致模型预测的晶体直径准确性较差，无法为控制算法的设计提供有效策略的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请提供了一种晶体直径预测方法，所述方法包括：p>

3、获取当本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶体直径预测方法，其特征在于，所述方法包括：

2.如权利要求1所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述将所述当前拉晶数据输入至预设数据驱动模型的步骤之前，还包括：

3.如权利要求2所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述通过所述训练数据对初始BP神经网络模型进行训练，得到预设数据驱动模型的步骤，包括：

4.如权利要求3所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述若是，则基于所述误差对所述初始BP神经网络模型中各神经元之间的权值和阈值进行调整，并返回所述将所述训练数据输入至所述初始BP神经网络模型的步骤，直至所述误差低于所述预设误差标定值的步骤，包括...

【技术特征摘要】

1.一种晶体直径预测方法，其特征在于，所述方法包括：

2.如权利要求1所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述将所述当前拉晶数据输入至预设数据驱动模型的步骤之前，还包括：

3.如权利要求2所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述通过所述训练数据对初始bp神经网络模型进行训练，得到预设数据驱动模型的步骤，包括：

4.如权利要求3所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述若是，则基于所述误差对所述初始bp神经网络模型中各神经元之间的权值和阈值进行调整，并返回所述将所述训练数据输入至所述初始bp神经网络模型的步骤，直至所述误差低于所述预设误差标定值的步骤，包括：

5.如权利要求2所述的晶体直径预测方法，其特征在于，所述通过所述训练数据对初始bp神经网络模型进行训练，得到预设数据驱动模型的步骤之前，还包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：陈碧海，
申请(专利权)人：三一重能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：