一种用于控制成像设备的方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于控制成像设备的方法及装置，属于自动化控制技术领域。该方法包括：获取针对所述成像设备的操作指令，所述操作指令用于指示所述成像设备执行目标操作；通过第一转换模块，将所述操作指令转换为针对所述成像设备的操作信息，用于确定所述成像设备被指示执行的目标操作；通过第二转换模块，根据所述成像设备的操作文档，将所述操作信息转换为针对所述成像设备的控制程序，用于控制所述成像设备。根据本申请公开的方法，可以实现成像设备根据用户的操作指令自动地执行操作，从而节省用户学习和掌握复杂的设备操作方法的时间成本，提高用户的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请一般涉及自动化控制。更具体地，本申请涉及一种控制成像设备的方法及装置。

技术介绍

1、扫描电子显微镜（scanning electron microscope，sem）是一种广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术和半导体产业等领域的高分辨率成像设备。然而，使用sem观察样本的过程涉及大量的参数设置以及调整操作，对用户造成了不容忽视的使用困难。现有技术中，虽然通过自动脚本和图形用户界面（graphical user interface，gui）简化了一些sem操作，但仍遗留了大量的需要用户自主掌握的操作项，无法实现sem操作的完全自动化。

2、有鉴于此，亟需提供一种用于控制成像设备的方法，以便实现sem根据用户的操作指令自动地执行操作，从而节省用户学习和掌握复杂的sem操作方法的时间成本，提高用户的工作效率。

技术实现思路

1、为了至少解决在上述
技术介绍
部分所描述的一个或多个技术问题，本申请提出如下的技术方案及其多个实施例。

2、在第一方面中，本申请公开了一种用于控制成像设备的方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于控制成像设备的方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，获取针对所述成像设备的操作指令，包括：

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述行为指令包括自然语言指令和手势指令。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述特定信息包括以下中的至少一种：样品信息、操作参数和目标物体。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述操作指令转换为针对所述成像设备的操作信息，包括：

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述操作信息转换为针对所述成像设备的控制程序，包括：p>

7.如权利...

【技术特征摘要】

1.一种用于控制成像设备的方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，获取针对所述成像设备的操作指令，包括：

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述行为指令包括自然语言指令和手势指令。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述特定信息包括以下中的至少一种：样品信息、操作参数和目标物体。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述操作指令转换为针对所述成像设备的操作信息，包括：

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述操作信息转换为针对所述成像设备的控制程序，包括：

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，进一步包括：

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一子操作流程包括：

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，调整所述目标物体在所述成...

【专利技术属性】
技术研发人员：许涛，金宪伟，焦扬，聂丽，尚蔚，
申请(专利权)人：惠然科技有限公司，
类型：发明
国别省市：