【技术实现步骤摘要】
本技术属于泵体设备，尤其是涉及一种风囊泵。
技术介绍
1、由氟树脂制成的风囊泵已被广泛用于半导体用清洁液体的输送，往复式风囊泵一般包括两个对象流体室，每个对象流体室内设置有可膨胀或收缩的风囊；通过风囊的膨胀或收缩，实现在对象流体室中吸入或排出对象流体。现有技术专利jp3519364b2中，公开了一种波纹管泵，参考专利附图2，波纹管12a、12b的封闭端具有连接板15a、15b，泵轴24a、24b的端部刚性连接有安装板31a、31b，当该安装板31a、31b和波纹管的连接板15a、15b可拆的固定连接时，因此安装板31a、31b的端面和连接板15a、15b的端面进行面贴合接触。
2、但是，在实际制造过程中，安装板的端面和连接板的端面平整度得不到保证，如果连接板的端面和/或安装板的端面会出现不平或者凹陷或者鼓起或者倾斜等面缺陷的问题，会导致连接板和安装板之间的端面面贴合效果不佳，使得连接板和安装板中的一者会相对于另一者发生相对于水平方向的倾斜。
3、在通过安装板和连接板将泵轴和波纹管刚性连接后，因为上述连接板和安装板...
【技术保护点】
1.一种风囊泵，包括：
2.根据权利要求1所述的风囊泵，其特征在于：所述风囊的封闭端具有朝向所述安装板内端面的作用面，所述安装板内端面和所述作用面中的至少一者开设有环绕所述泵轴的第一环状凹槽，所述第一弹性调节件凸设于第一环状凹槽内。
3.根据权利要求1或2所述的风囊泵，其特征在于：所述安装板的内端面具有相对于竖向倾斜的倾斜面，第一环状凹槽的至少部分和所述倾斜面交叉设置。
4.根据权利要求2所述的风囊泵，其特征在于：所述第一环状凹槽开设于所述安装板内端面，所述作用面为平坦面，所述平坦面挤压所述第一弹性调节件。
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种风囊泵，包括：
2.根据权利要求1所述的风囊泵，其特征在于：所述风囊的封闭端具有朝向所述安装板内端面的作用面，所述安装板内端面和所述作用面中的至少一者开设有环绕所述泵轴的第一环状凹槽，所述第一弹性调节件凸设于第一环状凹槽内。
3.根据权利要求1或2所述的风囊泵，其特征在于：所述安装板的内端面具有相对于竖向倾斜的倾斜面，第一环状凹槽的至少部分和所述倾斜面交叉设置。
4.根据权利要求2所述的风囊泵，其特征在于：所述第一环状凹槽开设于所述安装板内端面，所述作用面为平坦面，所述平坦面挤压所述第一弹性调节件。
5.根据权利要求2所述的风囊泵，其特征在于：所述安装板具有供泵轴贯穿的通孔以及环绕所述通孔的安装槽，所述泵轴端部外径增大形成容纳于所述安装槽的凸缘；
6.根据权利要求5所述的风囊泵，其特征在于：所述第一环状凹槽和所述第二环状凹槽同心设置，所述第一环状凹槽的外径为d1，所述第二环状凹槽的外径为d2...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，谢杭峰，刘志强，
申请(专利权)人：杭州科百特半导体分离膜有限公司，
类型：新型
国别省市：
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