太阳能电池镀膜载板及镀膜设备制造技术

本技术涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池镀膜载板及镀膜设备。该太阳能电池镀膜载板包括托盘、第一台阶部和第二台阶部。其中，托盘的外周侧设置有第一台阶部和第二台阶部，第二台阶部位于第一台阶部的外周侧，且第二台阶部的高度高于第一台阶部的高度；第一台阶部用于放置硅片，第二台阶部用于对硅片进行限位，当硅片放置在第一台阶部时，硅片与托盘的上端面形成第一间隙；第一台阶部的下端面开设有第一气孔槽，第一气孔槽的侧壁连通第一间隙。该太阳能电池镀膜载板能够减少硅片发生变形的现象，提高吸盘吸取硅片的可靠性和稳定性，同时提升产品良率，达到节约成本的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种太阳能电池镀膜载板及镀膜设备。

技术介绍

1、在太阳能电池制造过程中，需要将待加工的硅片放置在镀膜载板的托盘上，然后传输装置将载有硅片的镀膜载板传输至真空腔室内进行镀膜工艺。镀膜载板包括托盘和框架，目前，如图1所示，现有技术中一部分托盘100为无气孔槽结构，这样导致硅片10下方不透气形成封闭状态，在真空镀膜加工过程中硅片10上下两侧将形成压强差，硅片10下方的残气将溢出，不仅使得硅片10易产生变形，还对自动化设备吸取硅片10造成不良，降低吸盘吸取硅片10的稳定性和可靠性。如图2所示，现有技术中另一部分托盘100开设有贯穿式的通槽1’且通槽1’正对于硅片10下方，这样在进行镀膜工艺时，容易造成硅片10背面绕镀的不良现象，从而降低产品良率，增加成本。

2、因此，亟需设计一种太阳能电池镀膜载板及镀膜设备，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本技术的第一目的在于提出一种太阳能电池镀膜载板，能够减少硅片发生变形的现象，提高吸盘吸取硅片的可靠性和稳定性，同时提升产品良本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.太阳能电池镀膜载板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述托盘(100)的高度设置为Ha，所述第一台阶部(200)的高度设置为Hb；所述第一气孔槽(210)的高度设置为H1，Ha<H1<Hb。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述托盘(100)的高度设置为Ha，所述第一台阶部(200)的高度设置为Hb；所述第二气孔槽(220)的高度设置为H2，H2≤Hb-Ha。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述第二台阶部(300)的上端面开设有第三气孔槽(31...

【技术特征摘要】

1.太阳能电池镀膜载板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述托盘(100)的高度设置为ha，所述第一台阶部(200)的高度设置为hb；所述第一气孔槽(210)的高度设置为h1，ha<h1<hb。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述托盘(100)的高度设置为ha，所述第一台阶部(200)的高度设置为hb；所述第二气孔槽(220)的高度设置为h2，h2≤hb-ha。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述第二台阶部(300)的上端面开设有第三气孔槽(310)，所述第三气孔槽(310)与所述第二气孔槽(220)连通。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述托盘(100)的高度设置为ha，所述第一台阶部(200)的高度设置为hb；所述第二台阶部(300)的高度设置为hc；所述第一气孔槽(210)的高度设置为h1，所述第二气孔槽(220)的高度设置为h2，所述第三气孔槽(310)的高度设置为h3，hc-hb<h3≤hc-ha。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池镀膜载板，其特征在于，所述第一台阶...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，陈晨，刘亚南，周剑，杨艳红，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：