一种用于真空蒸镀的极座机构制造技术

技术编号:43819094 阅读:28 留言:0更新日期:2024-12-27 13:31
本技术公开了一种用于真空蒸镀的极座机构,包括蒸发槽、正极座、负极座、蒸发舟和夹紧组件,所述负极座安装于所述蒸发槽内,所述蒸发槽的一侧设置有极座孔,所述正极座贯穿所述极座孔且其两端分别位于所述蒸发槽的内部和外部,所述正极座通过所述夹紧组件活动设置于所述极座孔内,所述正极座和所述负极座间隔设置,且两者相近的一端均设置有放置槽,所述蒸发舟的两端放置在两个所述放置槽内,并通过所述夹紧组件对所述蒸发舟进行夹紧。本技术提供的用于真空蒸镀的极座机构,通过夹持的方式夹紧固定蒸发舟,使得蒸发舟易于拆装,便于后期蒸发舟的维修和更换,且对蒸发舟的结构限制小。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及导电薄膜生产,具体的涉及一种用于真空蒸镀的极座机构


技术介绍

1、导电薄膜是一种表面镀有金属的一种高分子材料,广泛运用于锂离子电池中,在锂离子电池中主要作为电池集流体使用。现有生产导电薄膜使用最多的方法为真空蒸镀工艺,真空镀膜是将膜材置于真空镀膜室内,通过蒸发源使其加热蒸发。蒸发的粒子从蒸发源表面上逸出,到达基片表面上凝结而生成薄膜。真空镀膜通常为电阻式加热,将蒸发舟固定在正负电极之间,将待蒸镀物质放入蒸发舟中,给电极通入电流,电流流经蒸发舟,蒸发舟发热对待蒸镀物质进行蒸发。

2、然而,现有的蒸发舟固定机构,通常采用螺钉的方式固定将蒸发舟固定在正负电机之间,这种蒸发舟固定方式存在以下缺陷:

3、1)维修和更换不便:现有的蒸发舟固定机构通常采用螺钉的方式固定将蒸发舟固定在正负电机之间,这种方式使得蒸发舟不易拆装。当蒸发舟需要维修或更换时,需要耗费大量的时间和人力,增加了生产成本。

4、2)生产效率和质量受影响:由于现有的蒸发舟固定机构导致蒸发舟不易拆装,使得生产过程中对蒸发舟的调整和校准变得困难。这可能导致生产本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,包括蒸发槽、正极座、负极座、蒸发舟和夹紧组件,所述负极座安装于所述蒸发槽内,所述蒸发槽的一侧设置有极座孔,所述正极座贯穿所述极座孔且其两端分别位于所述蒸发槽的内部和外部,所述正极座通过所述夹紧组件活动设置于所述极座孔内,所述正极座和所述负极座间隔设置,且两者相近的一端均设置有放置槽,所述蒸发舟的两端放置在两个所述放置槽内,并通过所述夹紧组件对所述蒸发舟进行夹紧。

2.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,所述夹紧组件包括夹紧弹簧、弹簧底座和第一限位环,所述弹簧底座安装于所述蒸发槽的外侧,所述弹簧底座具有安装腔,所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,包括蒸发槽、正极座、负极座、蒸发舟和夹紧组件,所述负极座安装于所述蒸发槽内,所述蒸发槽的一侧设置有极座孔,所述正极座贯穿所述极座孔且其两端分别位于所述蒸发槽的内部和外部,所述正极座通过所述夹紧组件活动设置于所述极座孔内,所述正极座和所述负极座间隔设置,且两者相近的一端均设置有放置槽,所述蒸发舟的两端放置在两个所述放置槽内,并通过所述夹紧组件对所述蒸发舟进行夹紧。

2.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,所述夹紧组件包括夹紧弹簧、弹簧底座和第一限位环,所述弹簧底座安装于所述蒸发槽的外侧,所述弹簧底座具有安装腔,所述正极座贯穿所述安装腔,所述第一限位环安装于所述安装腔的前端,所述正极座位于所述蒸发槽外部的一端设置有第二限位环,所述夹紧弹簧设于所述弹簧底座内并位于所述第一限位环和所述第二限位环之间,且所述夹紧弹簧的两端分别与所述第一限位环和所述第二限位环相抵接。

3.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,所述弹簧底座通过螺栓安装于所述蒸发槽的外侧。

4.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的极座机构,其特征在于,所述夹紧组件还包括弹簧绝缘套,所述弹簧绝缘套滑动套设于所述正极座位于所述蒸发槽外部的一端,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧伟罗能铁
申请(专利权)人:深圳市镭煜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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