【技术实现步骤摘要】
本技术涉及探针卡，特别涉及一种探针卡用调针机。
技术介绍
1、探针卡是电子测试系统和半导体晶圆之间的接口。通常，探针卡与探针机械对接并与测试仪电连接。其目的是在测试系统和晶圆上的电路之间提供一条电气路径，从而允许在晶圆级对电路进行测试和验证。
2、探针卡在使用过程中经常出现磨损、倾斜等问题，从而导致探针卡上的探针出现倾斜、间距不一致的情况，最终影响晶圆的测试结果。因此，在探针卡使用一段时间后，需要对探针卡进行调针，调节探针的倾斜度，使得间距保持一致。
3、专利2020232788669公开了一种环氧探针卡调针机，包括针卡固定装置以及观测装置，还包括针孔对比装置，所述针卡固定装置用于对针卡进行固定，且可对针卡进行水平移动以及转动；所述针孔对比装置可用于安装片状物，该片状物上设置有针孔，针孔位置与针卡上探针的标准位置对应，所述观测装置位于针孔对比装置上方，且提供光源。通过观察对比针孔位置与探针位置，可以快速判断探针是否出现倾斜弯曲，进而进行校正。这里的针孔对比装置为可升降的横杆，横杆可轴向转动，在横杆上设置有一对固定...
【技术保护点】
1.一种探针卡用调针机，包括底座，底座上设有门型支架，门型支架上设有显微镜组件；所述底座上还设有载物台面以及驱使载物台面调位的调节组件，所述载物台面上方架设有安装平台，安装平台中间设有一供载物台面穿行的开口；其特征在于：所述安装平台上方固定安装一安装轴，安装轴上转动安装有参照卡固定座，参照卡固定座安装有参照卡；所述参照卡固定座一侧设有把手，可带动参照卡固定座绕安装轴转动。
2.如权利要求1所述的一种探针卡用调针机，其特征在于：所述参照卡固定座末端设有贯穿孔，套装在安装轴上；所述安装轴上还设有两个限位块，位于参照卡固定座两侧。
3.如权利要求2所...
【技术特征摘要】
1.一种探针卡用调针机，包括底座，底座上设有门型支架，门型支架上设有显微镜组件；所述底座上还设有载物台面以及驱使载物台面调位的调节组件，所述载物台面上方架设有安装平台，安装平台中间设有一供载物台面穿行的开口；其特征在于：所述安装平台上方固定安装一安装轴，安装轴上转动安装有参照卡固定座，参照卡固定座安装有参照卡；所述参照卡固定座一侧设有把手，可带动参照卡固定座绕安装轴转动。
2.如权利要求1所述的一种探针卡用调针机，其特征在于：所述参照卡固定座末端设有贯穿孔，套装在安装轴上；所述安装轴上还设有两个限位块，位于参照卡固定座两侧。
3.如权利要求2所述的一种探针卡用调针机，其特征在于：所述安装轴上靠近把手一侧的限位块延伸出一水平面，所述参照卡固定座侧面设有竖向的调平件...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，张国燕，
申请(专利权)人：浙江微针半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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