热回收装置和热回收利用设备制造方法及图纸

本申请公开一种热回收装置和热回收利用设备，通过热排外管道将车间内发热设备运行时产生的热量引入到换热器，换热器可以与其他需要用到热量的设备连接，从而通过换热器可以吸收经过自身空气的部分热量，从而降低热排外管道内位于换热器下游的空气温度，同时换热器吸收的热量可以提供给其他需要热量的取热设备使用，例如纯水站供水加热、新风空调再热预热盘管使用等等，从而实现热量的回收利用，而且发热设备的运行时的温升现象也可以缓解，从而尽量避免影响其他设备的运行，此外，热排外管道内经过换热器吸收热量后的空气则可以通过排外管路排至车间外大气环境和/或通过回风管路送入送回风夹层以进入到车间内，节约能源。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及车间设备温控，尤其是涉及一种热回收装置和热回收利用设备。

技术介绍

1、碳化硅(sic)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景。

2、车间内碳化硅工艺生产中，部分机台(设备)在运行时会产生大量热量，从而影响车间内设备的性能。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种热回收装置和热回收利用设备，可以将发热设备运行时的热量进行回收利用，节约能源，同时缓解温升现象，尽量避免影响其他设备的运行节约能源。

2、本申请的实施例可以这样实现：

3、第一方面，本技术提供一种热回收装置，包括热排外管路、排外管路和回风管路；

4、所述热排外管路包括热排外管道以及设置于所述热排外管道内的换热器，所述热排外管道的进风端用于与车间内的发热设备的排风口连接，所述热排外管道的出风端与所述排外管路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热回收装置(100)，其特征在于，包括热排外管路(110)、排外管路(120)和回风管路(130)；

2.根据权利要求1所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述热排外管路(110)还包括设置于所述热排外管道(111)的第一风阀(113)，所述第一风阀(113)能够使所述热排外管道(111)导通或截止。

3.根据权利要求1所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述热排外管路(110)还包括设置于所述热排外管道(111)内的排风机(114)，所述排风机(114)的负压侧对应于所述热排外管道(111)的进风端，所述排风机(114)的正压侧对应于所述热排外管...

【技术特征摘要】

1.一种热回收装置(100)，其特征在于，包括热排外管路(110)、排外管路(120)和回风管路(130)；

2.根据权利要求1所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述热排外管路(110)还包括设置于所述热排外管道(111)的第一风阀(113)，所述第一风阀(113)能够使所述热排外管道(111)导通或截止。

3.根据权利要求1所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述热排外管路(110)还包括设置于所述热排外管道(111)内的排风机(114)，所述排风机(114)的负压侧对应于所述热排外管道(111)的进风端，所述排风机(114)的正压侧对应于所述热排外管道(111)的出风端。

4.根据权利要求1所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述排外管路(120)和所述回风管路(130)可择一导通。

5.根据权利要求4所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述热排外管路(110)还包括设置于所述热排外管道(111)的温度传感器(116)，所述温度传感器(116)位于所述换热器(112)的下游侧，所述排外管路(120)和所述回风管路(130)能够根据所述温度传感器(116)的检测结果择一导通。

6.根据权利要求1-5任一项所述的热回收装置(100)，其特征在于，所述排外管路(120)包括排外管道(121)以及设置于所述排外管道(121)的第二风阀(122)，所述排外管道(121)的进风端与所述热排外管道(111)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宗胜，卫元元，张旭，杨银鹏，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：