惯性测量装置制造方法及图纸

本公开内容涉及使得能够提高多IMU系统的检测准确度的惯性测量装置。四个岛部(每个岛部具有通过将设置在基板上的方形开口部分割成四个部分而得到的尺寸并且具有安装在其上的一个惯性测量单元(IMU))以及相对于开口部的每一侧的中心的右侧部分或左侧部分中的每个部分通过连接部连接，该连接部具有比基板和岛部低的刚度。本发明专利技术可以在多IMU系统中采用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开内容涉及惯性测量装置，并且特别地尤其涉及能够提高多imu的检测准确度的惯性测量装置。

技术介绍

1、提出了通过整合多个惯性测量单元(imu)的检测结果来提高检测准确度的多imu。

2、作为用于提高多imu的检测精度的技术，提出了根据多个imu的噪声特性和观察值的条件来适当地组合多个imu的观察值的技术(参见专利文献1)。

3、引用列表

4、专利文献

5、专利文献1：wo2020/045099

技术实现思路

1、技术问题

2、顺便提及，用于使用多个imu的多imu(包括专利文献1的示例)的使用微电子机械系统(mems)的振动类型的imu基于通过在施加振动的同时使对象旋转产生的科里奥利力来检测角速度。

3、然而，由于多个imu引起振动，因此由其他imu产生的振动产生干扰，并且可能对于每个imu发生由干扰引起的差拍噪声。

4、特别地，随着近来imu的工作准确度的提高，已经大量制造其中制造的偏差减小并且由各个imu产生的振动的频本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种惯性测量装置，包括：

2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，所述连接部的刚性低于所述安装部的刚性。

3.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，

4.根据权利要求3所述的惯性测量装置，其中，

5.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

6.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

7.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

8.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

9.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

10.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种惯性测量装置，包括：

2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，所述连接部的刚性低于所述安装部的刚性。

3.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，

4.根据权利要求3所述的惯性测量装置，其中，

5.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

6.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

7.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

8.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

9.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

10.根据权利要求4所述的惯性测量装置，其中，

11.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，具有容纳在所述开口部中的所述预定数目的安装部和所述预定数目的连接部作为单元的多个单元并排地布置在水平方向和垂直方向中的至少一个方向上。

12.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：天野彻，山下功诚，园浦章弘，
申请(专利权)人：索尼集团公司，
类型：发明
国别省市：