本申请公开了一种检测系统及方法，该系统包括第一分光元件、第一探测设备、线性阵列光电接收器件和干涉元件。该检测系统中，通过第一分光元件将来自光学元件的第一束光分为第一透射光和第一反射光；进而第一探测设备可以检测第一反射光的光强变化值，该第一反射光的光强变化值用于表征光学元件的衍射效率；干涉元件可以接收第一透射光，得到并投影干涉条纹，进而线性阵列光电接收器件可以获取干涉条纹的图像信息，该图像信息用于表征光学元件的折射率变化量。如此，实现了对光学元件的衍射效率和折射率变化量的检测，进而可以对光学元件的性能进行评价，有助于改善光学元件的工艺。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
pct国内申请，权...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈兴宇，周鹏程，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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