【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材，尤其涉及一种组合式平面靶材。
技术介绍
1、图3为一种常用的平面绑定靶材，其包括一个圆盘型的背板1，背板1的周围设置有多个沉孔11，背板1上绑定有圆盘状的靶材材料2，在使用时，用沉头螺栓穿过沉孔11将该绑定靶材固定在真空溅射设备上，在溅射后，如图4所示，靶材材料2上的材料被消耗形成了近似圆柱型的溅射凹台21。此种绑定靶材能够满足正常使用的需要，但是，绑定层一般为低熔点的金属（常用的为铟），当功率较大时绑定层会熔化导致靶材材料2与背板1分开，因此该种靶材只能以比较小的功率来溅射。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种组合式平面靶材。
2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种组合式平面靶材，包括靶材材料，所述靶材材料下部的外侧设置有凸环，还包括背环，所述背环的周围设置有多个沉孔，所述背环的一侧设置有与凸环相配合的容纳凹台，所述靶材材料穿入背环中且凸环位于容纳凹台内，所述靶材材料与背环的底面齐平。
3、进一步优化本技术方案，所述靶材材料上设置有环绕其一周的切口，所述切口位于背环的上方。
4、与现有技术相比，本技术具有以下优点：1、靶材材料下部的外侧设置有凸环，背环的一侧设置有容纳凹台，背环可将靶材材料压紧在真空溅射设备上，由于没有绑定层，所以不用担心绑定层熔化，从而溅射的功率可以比现有技术的大；2、靶材材料上设置有环绕其一周的切口，当溅射凹台较深时，方便将残靶筒状部分去掉一些。
【技术保护点】
1.一种组合式平面靶材，包括靶材材料（2），其特征在于：所述靶材材料（2）下部的外侧设置有凸环（22），还包括背环（3），所述背环（3）的周围设置有多个沉孔（11），所述背环（3）的一侧设置有与凸环（22）相配合的容纳凹台（31），所述靶材材料（2）穿入背环（3）中且凸环（22）位于容纳凹台（31）内，所述靶材材料（2）与背环（3）的底面齐平。
2.根据权利要求1所述的一种组合式平面靶材，其特征在于：所述靶材材料（2）上设置有环绕其一周的切口（23），所述切口（23）位于背环（3）的上方。
【技术特征摘要】
1.一种组合式平面靶材，包括靶材材料（2），其特征在于：所述靶材材料（2）下部的外侧设置有凸环（22），还包括背环（3），所述背环（3）的周围设置有多个沉孔（11），所述背环（3）的一侧设置有与凸环（22）相配合的容纳凹台（31），所述靶材材料（2）穿入...
【专利技术属性】
技术研发人员：施玉良，徐文斌，王斌，
申请(专利权)人：法柯特科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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