【技术实现步骤摘要】
本技术涉及带电粒子光学设备领域，尤其涉及一种粒子能量带通装置、电子能量分析器及光电子能谱仪。
技术介绍
1、粒子能量带通装置是指对一个具有多种能量的粒子束，可以选取出其中一段能量的粒子，这种选取既可以设定选取上限，也可以设定选取下限。通常也被叫做粒子能量分析器。现有的粒子能量分析器的技术有时间飞行法、静电场反射法、静电场偏转法、磁场偏转法等。
2、以leem技术为例，从上向下射入一个能量尽量单色的电子束，电子束通过中间磁场时，发生了偏转，照射到右侧样品后返回。返回的电子束向下偏转，被探测器接收形成探测信号。在电子束向右侧或向下偏转的时候，在出口处设置一个狭缝。因为不同能量的电子束，其偏转半径不同，从而再通过狭缝的时候，进行了一定的能量带通选择。
3、而上述技术存在的缺陷是：(1)磁场偏转和狭缝的结合，其能量分辨率较差，无法提供高能量分辨；(2)对入射离子束的能量分辨要求高，无法进行再筛选。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中存在的不足，本申请提出了一种粒子能量带通...
【技术保护点】
1.一种粒子能量带通装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，通过增加反射通道与反射器，带电粒子束在偏转腔(5)中进行多次筛选和反射。
3.根据权利要求1所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，所述偏转腔(5)通过反射通道和/或出射通道连接另一个或多个偏转腔(5)。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，根据能量段的筛选要求，分别对所述入射通道内的透射器、反射通道内的反射器的电压进行设定。
5.根据权利要求4所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.一种粒子能量带通装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，通过增加反射通道与反射器，带电粒子束在偏转腔(5)中进行多次筛选和反射。
3.根据权利要求1所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，所述偏转腔(5)通过反射通道和/或出射通道连接另一个或多个偏转腔(5)。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，根据能量段的筛选要求，分别对所述入射通道内的透射器、反射通道内的反射器的电压进行设定。
5.根据权利要求4所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，所述透射器、反射器均采用透射器。
6.根据权利要求5所述的一种粒子能量带通装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓平，王振中，
申请(专利权)人：苏州华萃仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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