【技术实现步骤摘要】
本公开涉及碳碳托杆生产，尤其涉及一种应用于碳碳托杆的检测装置。
技术介绍
1、坩埚托杆是单晶硅炉内一种主要承重部件，其一端承载单晶炉坩埚，坩埚内装拉晶硅料，另一端与驱动装置连接，在驱动装置带动下在炉腔内转动或上下移动。受市场及拉晶技术的影响，单晶硅片逐渐向大规格发展，单炉装载量也不断增加，这就对单晶炉内部承重部件提出了更高的要求，传统的石墨托杆性能难以满足使用需求，逐渐被碳碳托杆所取代。
2、市面上的碳碳托杆以分体托杆为主，由托杆头、杆体和底盘组合而成，由于碳碳托杆在受力的同时还要旋转的使用特性决定了对其托杆头与底盘的垂直度，托杆头与杆体之间的同心度的要求较高。垂直度和同心度偏差过大不仅会降低碳碳托杆的使用寿命，还会损耗炉内与其相连接的部件。因此，托杆头与底盘的垂直度，托杆头与杆体整体之的同心度均要检测合格后才能使用。相关技术中，需要使用不同的检测装置分别检测碳碳托杆的垂直度和同心度，检测效率较低。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种应用于碳碳托杆...
【技术保护点】
1.一种应用于碳碳托杆的检测装置，所述碳碳托杆包括托杆头(13)、杆体(11)和底盘(14)，所述杆体(11)设置在所述托杆头(13)和所述底盘(14)之间，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述垂直度检测仪(7)为百分表或千分表，所述垂直度检测仪(7)包括触头，所述触头沿着所述杆体(11)的轴向设置且能够与所述底盘(14)远离所述杆体(11)的表面接触。
3.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述同心度检测仪(12)为百分表或千分表，所述同心度检测仪(12)包括触...
【技术特征摘要】
1.一种应用于碳碳托杆的检测装置，所述碳碳托杆包括托杆头(13)、杆体(11)和底盘(14)，所述杆体(11)设置在所述托杆头(13)和所述底盘(14)之间，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述垂直度检测仪(7)为百分表或千分表，所述垂直度检测仪(7)包括触头，所述触头沿着所述杆体(11)的轴向设置且能够与所述底盘(14)远离所述杆体(11)的表面接触。
3.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述同心度检测仪(12)为百分表或千分表，所述同心度检测仪(12)包括触头，所述触头沿着所述杆体(11)的径向设置且能够与所述杆体(11)的侧壁接触。
4.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述安装台(10)上开设有与所述托杆头(13)对应设置的安装口，所述托杆头(13)能够插入所述安装口中并与所述安装台(10)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种应用于碳碳托杆的检测装置，其特征在于，所述旋转驱动机构(9)包括驱动电机，所述升降驱动机构(3)包括升降螺杆，所述驱动电机的驱动轴与所述安装台(10)传动连接，所述升降螺杆与所述驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海波，刘时伟，胡士伟，杨帅，
申请(专利权)人：浙江德鸿碳纤维复合材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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