【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及空调，具体而言，涉及一种洁净室空调系统的温控装置及温控方法、洁净室空调系统。
技术介绍
1、半导体洁净厂房净化车间的洁净度要求非常严格，需要保证生产环境的无尘和无菌。由于对温度和湿度比的控制要求很高，因此半导体洁净室中空调系统的能耗很大。半导体洁净室空调系统包括新风机组、新风管路、风机过滤单元(ffu)、干式盘管(dcc)、压力传感器、温度传感器等。干式盘管是用于给室内回风提供冷量或热量的设备，干式盘管主要用于消除室内显热来控制室内温度。
2、为了维持半导体洁净室内温度恒定在一定的范围内，装设在回风处需要大量的冷量，将回风的温度处理得接近半导体洁净室内要求的温度。半导体洁净室空调回风与工艺设备的运行情况息息相关，当工艺设备出现过载情况或负荷需求增大的情况，干式盘管调节适配性不佳，导致回风温度短时间内过热，产生温度小范围内波动。在设备多且开停频繁时，温度小范围内波动的问题更为明显，回风温度短时间内的小范围波动，最终导致半导体洁净室内温度的波动，影响工艺生产的合格率。
3、针对相关技术中洁净室空调系统的...
【技术保护点】
1.一种洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置包括：
3.根据权利要求1所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
4.根据权利要求3所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
5.根据权利要求4所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
6.根据权利要求5所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
7.一种洁...
【技术特征摘要】
1.一种洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置包括：
3.根据权利要求1所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
4.根据权利要求3所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
5.根据权利要求4所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
6.根据权利要求5所述的洁净室空调系统的温控装置，其特征在于，所述相变储能装置还包括：
7.一种洁净室空调系统的温控方法，应用于如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭峰，文聖廣，周世濠，陈志豪，陈鑫，席炜昊，
申请(专利权)人：珠海格力电器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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