【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数字式扬声器，尤其涉及一种发声单元的制作方法和发声单元。
技术介绍
1、发声单元是电声领域中一种常见的电声转换器件，其在电声系统中发挥着极其重要的作用。
2、现有技术中，静电式mems(microelectro mechanical systems，微机电系统)发声单元一般包括基底、绝缘层、电极层和振膜。在实际制作过程中，会去除牺牲层以释放振膜和电极层之间的空间，形成悬空振膜结构。
3、但是，在去除牺牲层的过程中，位于相邻两个发声单元之间的绝缘层极易被去除。此时会导致相邻两个发声单元的腔体连通，影响发声单元正常工作。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种发声单元的制作方法和发声单元，用于避免因位于相邻两个发声单元之间的绝缘层被去除导致相邻两个发声单元的腔体连通，以确保发声单元正常工作。
2、为了实现上述目的，第一方面，本专利技术提供了一种发声单元的制作方法。该发声单元的制作方法包括：
3、首先，提供一衬底；衬底包括沿衬...
【技术保护点】
1.一种发声单元的制作方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，所述凹槽的宽度大于或等于1微米且小于或等于10微米，所述凹槽的宽度方向与相对设置的两个所述第一绝缘层的朝向一致。
3.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，去除部分所述第一绝缘层包括：
4.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，在所述凹槽内且至少在所述第一绝缘层中朝向所述空腔的外侧壁处形成保护层包括：
5.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，沿所述第一面至所述第二面的方向，在...
【技术特征摘要】
1.一种发声单元的制作方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，所述凹槽的宽度大于或等于1微米且小于或等于10微米，所述凹槽的宽度方向与相对设置的两个所述第一绝缘层的朝向一致。
3.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，去除部分所述第一绝缘层包括：
4.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，在所述凹槽内且至少在所述第一绝缘层中朝向所述空腔的外侧壁处形成保护层包括：
5.根据权利要求1所述的发声单元的制作方法，其特征在于，沿所述第一面至所述第二面的方向，在所述电极层上开设至少一个贯穿所述电极层的通孔前，所述发声单元的制作方法还包括：在所述电极层的第二面上形成多个绝缘凸起，所述绝缘凸起朝向所述振膜；沿垂直于所述第一面至所述第二面的方向，多个所述绝缘凸起间隔分布；
6.根据权利要求5所述的发声单元的制...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘长华，毕学东，
申请(专利权)人：地球山苏州微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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