【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种防护装置以及晶圆盒的承载设备
技术介绍
1、晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，晶圆盒在存放时容易落灰从而对晶圆造成污染，为降低晶圆盒及其内部放置的晶圆受到污染的风险，常在晶圆盒外部放置防尘盖以达到防尘目的，而现有的防尘盖通常设置为人工操作翻盖，翻盖效率低。
技术实现思路
1、本申请提供一种防护装置以及晶圆盒的承载设备，能够实现自动化设计，且利于提高转动效率。
2、根据本申请实施例提出了一种防护装置，包括：基座；防护罩，具有防护腔以及与防护腔连通的开口；驱动总成，连接于防护罩与基座之间，驱动总成包括第一驱动件，第一驱动件包括连接部件以及转动部件，连接部件设置有条形引导部，转动部件设置于防护罩，转动部件与连接部件可移动连接并能够沿条形引导部的延伸方向移动；动力源，设置于基座并与驱动总成连接设置，以驱动第一驱动件带动防护罩相对基座转动。
3、根据本申请实施例的一个方面，转动部件包括固定部以及转动部，固定部具有固定端以及转动端，固定端与防护罩连接设置，转动部设置于转动端以与固定部转动连接，且转动部转动连接并可移动连接于连接部件。
4、根据本申请实施例的一个方面，防护罩包括壁部，壁部围合形成防护腔，转动部件还包括转接部，转接部具有与固定端相对的转接端，壁部夹持于固定部与转接部之间，且转接端与固定端连接设置。
5、根据本申请实施例的一个方面，条形引导部为沿延伸方向延伸的长圆孔，转动部设置于长
6、根据本申请实施例的一个方面，基座具有容纳腔，驱动总成还包括第二驱动件，第二驱动件的至少部分以及动力源设置于容纳腔，第二驱动件包括第一轴，第一轴连接于连接部件沿条形引导部的延伸方向的一端以及动力源之间，动力源驱动第一轴转动以带动第一驱动件相对基座转动。
7、根据本申请实施例的一个方面，第一驱动件成对设置并沿第一方向间隔分布，防护罩连接于成对设置的第一驱动件之间，第一轴沿第一方向延伸，且第一轴在第一方向上的两侧分别伸出容纳腔以与成对设置的连接部件连接。
8、根据本申请实施例的一个方面，第二驱动件还包括第二轴以及传动带，动力源连接于第二轴，传动带缠绕连接于第一轴与第二轴之间。
9、根据本申请实施例的一个方面，其特征在于，防护装置还包括连接于基座的触发件，触发件被配置为检测防护罩相对基座转动的转动角度。
10、根据本申请实施例的一个方面，防护装置还包括连接于第一轴的第一遮挡件，第一遮挡件被配置为检测防护罩相对基座转动的转动角度；和/或，防护装置还包括连接于第二轴的第二遮挡件，第一遮挡件被配置为检测防护罩相对基座转动的转动角度。
11、根据本申请实施例的一个方面，其特征在于，防护装置还包括连接于防护罩的第三遮挡件，第三遮挡件被配置为检测开口的开口方向。
12、另一方面，根据本申请实施例还提出了一种晶圆盒的承载设备，包括：承载台，包括相交设置的承载面以及连接面；如上述的防护装置，基座连接于连接面背离承载面的一侧，防护罩设置于连接面背离基座的一侧，承载台能够封闭开口设置。
13、本申请实施例提供的防护装置以及晶圆盒的承载设备，防护装置包括基座、防护罩、驱动总成以及动力源，通过控制动力源驱动第一驱动件以带动防护罩相对基座转动，在满足打开及闭合防护罩需求的同时，利于实现防护装置的自动化设计。并且，通过将转动部件设置于防护罩并将其设置为可移动连接于连接部件，使得在防护罩相对基座转动的过程中，防护罩能够沿着条形引导部的延伸方向移动，即防护罩在转动过程中能够自动调整转动半径，避免发生卡顿现象，利于提高防护装置的转动效率。
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1.一种防护装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述转动部件包括固定部以及转动部，所述固定部具有固定端以及转动端，所述固定端与所述防护罩连接设置，所述转动部设置于所述转动端以与所述固定部转动连接，且所述转动部转动连接并可移动连接于所述连接部件。
3.根据权利要求2所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩包括壁部，所述壁部围合形成所述防护腔，所述转动部件还包括转接部，所述转接部具有与所述固定端相对的转接端，所述壁部夹持于所述固定部与转接部之间，且所述转接端与所述固定端连接设置。
4.根据权利要求2所述的防护装置，其特征在于，所述条形引导部为沿所述延伸方向延伸的长圆孔，所述转动部设置于所述长圆孔，且与所述长圆孔的孔壁转动连接并可移动连接设置；
5.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述基座具有容纳腔，所述驱动总成还包括第二驱动件，所述第二驱动件的至少部分以及所述动力源设置于所述容纳腔，所述第二驱动件包括第一轴，所述第一轴连接于所述连接部件沿所述条形引导部的延伸方向的一端以及所述动力源之间，所述动
6.根据权利要求5所述的防护装置，其特征在于，所述第一驱动件成对设置并沿第一方向间隔分布，所述防护罩连接于成对设置的所述第一驱动件之间，所述第一轴沿所述第一方向延伸，且所述第一轴在所述第一方向上的两侧分别伸出所述容纳腔以与成对设置的所述连接部件连接。
7.根据权利要求6所述的防护装置，其特征在于，所述第二驱动件还包括第二轴以及传动带，所述动力源连接于所述第二轴，所述传动带缠绕连接于所述第一轴与所述第二轴之间。
8.根据权利要求1至7任一项所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置还包括连接于所述基座的触发件，所述触发件被配置为检测所述防护罩相对所述基座转动的转动角度。
9.根据权利要求7所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置还包括连接于所述第一轴的第一遮挡件，所述第一遮挡件被配置为检测所述防护罩相对所述基座转动的转动角度；
10.根据权利要求1至7任一项所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置还包括连接于所述防护罩的第三遮挡件，所述第三遮挡件被配置为检测所述开口的开口方向。
11.一种晶圆盒的承载设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种防护装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述转动部件包括固定部以及转动部，所述固定部具有固定端以及转动端，所述固定端与所述防护罩连接设置，所述转动部设置于所述转动端以与所述固定部转动连接，且所述转动部转动连接并可移动连接于所述连接部件。
3.根据权利要求2所述的防护装置，其特征在于，所述防护罩包括壁部，所述壁部围合形成所述防护腔，所述转动部件还包括转接部，所述转接部具有与所述固定端相对的转接端，所述壁部夹持于所述固定部与转接部之间，且所述转接端与所述固定端连接设置。
4.根据权利要求2所述的防护装置，其特征在于，所述条形引导部为沿所述延伸方向延伸的长圆孔，所述转动部设置于所述长圆孔，且与所述长圆孔的孔壁转动连接并可移动连接设置；
5.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述基座具有容纳腔，所述驱动总成还包括第二驱动件，所述第二驱动件的至少部分以及所述动力源设置于所述容纳腔，所述第二驱动件包括第一轴，所述第一轴连接于所述连接部件沿所述条形引导部的延伸方向的一端以及所述动力源之间，所述动力源驱动所述第一轴转动以带动所述第一驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴挺，周贤辉，李苏航，顾卫凤，
申请(专利权)人：台积电中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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