一种单晶炉用热屏提升机构制造技术

本技术是一种单晶炉用热屏提升机构，采用双电机控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降，可避免现有技术存在的不同步现象，省时省力，而且内部螺旋升降机改为模组结构，提高传动效率，简化结构。本技术的优点：结构设计合理，采用双侧单独电机转动的主动升降的模组形式，可有效提高结构的刚性以及定位精度，整体体积小，安装面积小，使用维护方便，不需要长期维护。可有效保证热屏升降稳定性，避免倾斜发生，保证晶体生长质量。蜗轮蜗杆传动设计配合优选的自锁螺母，可有效避免机构快速下滑，减少安全隐患。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是一种单晶炉用热屏提升机构，属于单晶炉。

技术介绍

1、在现有单晶硅加工过程中，一般利用热屏来减少热辐射和热量损失，减少热对流，加快蒸汽挥发，加快晶体的冷却从而提升拉晶速度。

2、热屏提升装置具有可升降功能，热屏升起可使同一规格石英坩埚装入更多硅料，在硅料熔化后再将热屏降下来，起到热屏应有的作用，晶体生长结束后，热屏升起可加快热系统中石英坩埚内热量散失。

3、现有技术热屏提升装置（图1-3）主要通过单电机加软轴提供动力，但软轴连接会出现不同步现象，从而会导致热屏出现倾斜，严重影响坩埚内部的温度排布，影响晶体的生长。同时现有技术热屏提升机构采用螺旋升降机传动，采用梯形丝杠，传动效率较低，本体结构也较为繁琐笨重。

技术实现思路

1、本技术提出的是一种单晶炉用热屏提升机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，避免热屏升降时的倾斜，并提高传动结构稳定性，提高传动效率。

2、本技术的技术解决方案：一种单晶炉用热屏提升机构，采用双电机控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降，可避本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉用热屏提升机构，其特征在于，包括对称设置在炉盖组件A顶部开口两侧的一对相同的提升组件，提升组件包括固定在炉盖组件A顶部的安装底板（1），安装底板（1）上装有模组安装板（2），模组安装板（2）一侧两端连接有加强筋板（3），加强筋板（3）底端外侧通过电机安装板（4）连接伺服电机（5），伺服电机（5）输出端通过联轴器连接蜗轮蜗杆减速机（6），蜗轮蜗杆减速机（6）连接滚珠丝杆（7）底端，滚珠丝杆（7）沿模组安装板（2）高度方向延伸，滚珠丝杆（7）顶端通过联轴器连接编码器安装座（8），编码器安装座（8）连接位于模组安装板（2）顶端的编码器（9），滚珠丝杆（7）两侧的模组安装板（2）上...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉用热屏提升机构，其特征在于，包括对称设置在炉盖组件a顶部开口两侧的一对相同的提升组件，提升组件包括固定在炉盖组件a顶部的安装底板（1），安装底板（1）上装有模组安装板（2），模组安装板（2）一侧两端连接有加强筋板（3），加强筋板（3）底端外侧通过电机安装板（4）连接伺服电机（5），伺服电机（5）输出端通过联轴器连接蜗轮蜗杆减速机（6），蜗轮蜗杆减速机（6）连接滚珠丝杆（7）底端，滚珠丝杆（7）沿模组安装板（2）高度方向延伸，滚珠丝杆（7）顶端通过联轴器连接编码器安装座（8），编码器安装座（8）连接位于模组安装板（2）顶端的编码器（9），滚珠丝杆（7）两侧的模组安装板（2）上设有导轨（10），滑块（11）安装在滚珠丝杆（7）上且滑动连接在导轨（10）上，滑块（11）连接滑块安装板（12），滑块安装板（12）连接提升载板（14），滑块安装板（12）与提升载板（14）之间还连接有加强筋（17），提升载板（14）...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛珊，李锋伟，曹玉宝，薛金鑫，张怿，高树良，李春佳，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：