石墨烯制备载具及石墨烯制备装置制造方法及图纸

技术编号:43614286 阅读:24 留言:0更新日期:2024-12-11 14:57
本技术提供一种石墨烯制备载具及石墨烯制备装置,涉及石墨烯生产制造技术领域。该石墨烯制备载具包括底座、立柱和固定件,所述底座设置有第一固定结构;立柱垂直设置于所述底座;固定件连接于所述立柱远离所述底座的一侧并与所述底座平行正对设置,所述底座、所述立柱和所述固定件之间形成用于容纳生长衬底的空间,所述固定件设置有第二固定结构,所述第一固定结构用于固定生长衬底沿所述底座高度方向的第一端,所述第二固定结构用于固定所述生长衬底沿所述底座高度方向的第二端,实现生长衬底沿底座高度方向的第一端和第二端的固定,生长衬底可呈竖直状态,有效减轻或避免石墨烯薄膜因褶皱变形,提高石墨烯生长均匀性和成品合格率。

【技术实现步骤摘要】

本技术总体来说涉及石墨烯生产制造,具体而言,涉及一种石墨烯制备载具及石墨烯制备装置


技术介绍

1、现有甲烷、乙炔等有机碳源在cvd炉或pecvd炉内进行高温裂解后,可在基底上沉积并制备出高质量单层或多层石墨烯材料。由于金属箔材等基底的直径或厚度较小,难以在高温下直立,通常在升温前在cvd炉或pecvd炉内平放一方形石英垫板,并将基底平放于石英垫板上方,以确保石墨烯在基底表面均匀生长。

2、但是,采用这种方式,有机碳源高温裂解后形成的石墨烯仅可与基底进行单面接触,石墨烯与基底面接触相对较差,难以实现石墨烯在基底表面上的高效、高质量均匀生长。另外,在高温条件下,石墨烯在上、下表面生长不均匀,容易使上下表面产生不均匀的相变应力,导致发生卷曲或变形而报废。


技术实现思路

1、本技术提供的一种石墨烯制备载具及石墨烯制备装置,提高石墨烯生长的均匀性。

2、根据本技术的第一个方面,提供了一种石墨烯制备载具,包括:

3、底座,所述底座设置有第一固定结构;

4、立柱,垂直设置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石墨烯制备载具,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述固定件其中一个设置有沿所述底座高度方向延伸的滑道,另一个设置有滑块,所述滑块和所述滑道滑动配合,用于调节所述固定件相对于所述底座的高度距离。

3.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述固定件之间设置有锁止结构。

4.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述底座可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述底座、所述立柱和所述固定件中至少之一为伸缩结构。

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【技术特征摘要】

1.一种石墨烯制备载具,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述固定件其中一个设置有沿所述底座高度方向延伸的滑道,另一个设置有滑块,所述滑块和所述滑道滑动配合,用于调节所述固定件相对于所述底座的高度距离。

3.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述固定件之间设置有锁止结构。

4.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述立柱和所述底座可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述底座、所述立柱和所述固定件中至少之一为伸缩结构。

6.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具,其特征在于,所述底座和所述固定件中至少之一设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:钱伟涛马正斌李宁孙建波王思雨
申请(专利权)人:北京石墨烯研究院
类型:新型
国别省市:

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