误差补正方法及采用该误差补正方法的工件测量方法技术

一种误差补正方法，包括如下步骤：提供一测量装置，该测量装置包括测头和导轨；对导轨的真直度误差进行测量并补正；拟合测头的安装倾斜角；计算测头的形状误差；生成系统误差补正文件。该误差补正方法具有降低成本且可保证测量精度的优点。本发明专利技术还提供一种采用该误差补正方法的工件测量方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种采用软件处理的误差补正方法及工件测量方法。
技术介绍
在超精密测量领域，提高测量精度方法普遍是从硬件设计上着手，如采用测量精 度较高的接触式测量装置等。为了保证测量精度，接触式测量装置中通常会采用价格较高 的精密零部件，如高精度导轨、测头及激光干涉仪等。另外，为了获得精确的测量结果，对 测量装置的机械传动及装配精度同样有较高的要求，这就进一步增加了测量装置的制造成 本。因此，现有超精密测量装置的整体价格普遍非常高，限制了超精密测量装置的广泛应 用。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要提供一种可降低测量装置成本且可保证测量精度的误差补 正方法及采用该误差补正方法的工件测量方法。一种误差补正方法，包括如下步骤提供一测量装置，该测量装置包括测头和导轨；对导轨的真直度误差进行测量并补正；拟合测头的安装倾斜角；计算测头的形状误差；生成系统误差补正文件。一种工件测量方法，包括如下步骤提供一测量装置，该测量装置包括测头和导轨；对导轨的真直度误差进行测量并补正；拟合测头的安装倾斜角；计算测头的形状误差；生成系统误差补正文件；提供一工件，该工件具有曲面或者曲线；采用测量装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种误差补正方法，包括以下步骤：　　提供一测量装置，所述测量装置包括测头和导轨；　　对导轨的真直度误差进行测量并补正；　　拟合测头的安装倾斜角；　　计算测头的形状误差；　　生成系统误差补正文件。

【技术特征摘要】
一种误差补正方法，包括以下步骤提供一测量装置，所述测量装置包括测头和导轨；对导轨的真直度误差进行测量并补正；拟合测头的安装倾斜角；计算测头的形状误差；生成系统误差补正文件。2.如权利要求1所述的误差补正方法，其特征在于在对导轨的真直度误差进行测量 的过程中，提供一标准球及标准平面，使该标准球和标准平面分别位于测量装置的两侧，所 述测量装置包括两个测头，将其中一个测头与标准球的表面接触以对标准球进行测量，将 另一个测头与标准平面接触以对标准平面进行测量，通过对标准球及标准平面进行的测量 得出所述导轨的真直度误差。3.如权利要求2所述的误差补正方法，其特征在于所述测头的安装倾斜角采用最小 二乘法拟合。4.如权利要求1所述的误差补正方法，其特征在于所述测量装置为接触式测量装置。5.一种工件测量方法，包括以下步骤提供一测量装置，所述测量装置包括测头和导轨；对导轨的真直度误差进行测...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟，欧阳渺安，李军旗，刘庆，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]