一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法技术

本发明专利技术公开了一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，包括以下步骤：A、清洗并干燥玻璃；B、在步骤A的玻璃表面确定激光加工的加工点和加工路径；C、按照所述加工路径，通过贝塞尔光束聚焦于步骤B的玻璃表面，并对所述加工点进行激光加工，令玻璃表面形成微结构；其中，所述贝塞尔光束为脉冲激光；D、将步骤C的玻璃放置在刻蚀液中进行刻蚀；E、对步骤D的玻璃进行清洗并干燥。本方案提出的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，利用贝塞尔激光多旁瓣的物理特性，在玻璃表面形成同心圆环的微结构，从而增强玻璃表面金属膜的结合力，以克服现有技术中的不足之处。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片封装，尤其涉及一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法。

技术介绍

1、随着摩尔定律不断趋于极限，先进集成封装技术逐渐进入人们的视野。传统集成封装技术受到有机基板加工的限制，存在布线密度低，空间利用率低的问题。随着封装技术的发展，带有硅通孔结构的硅转接板得到了广泛的研究与应用。利用硅转接板的集成封装结构称为2.5d封装。在封装过程中，硅转接板的两面各需要一层金属膜，从而实现更好的电气和热性能。但是硅基板存在着工艺复杂、成本高、信号损失严重的问题。因此，带有玻璃通孔的玻璃转接板成为了新的研究热点。相较与硅转接板，玻璃转接板有着信号损失小、尺寸大、成本低、工艺简单的优点。但是由于玻璃表面光滑，与金属膜的结合力差，存在金属层分层、卷曲、脱落的问题。

2、目前，常用于玻璃表面镀金属膜的方法有磁控溅射镀膜和电化学镀膜，具体地：

3、1、磁控溅射镀膜：磁控溅射技术使物理气相沉积技术的一种。其原理是将靶材材料作为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，进而把靶材原子溅射到工件上形成沉积层。作为一种重要的镀膜技术，磁控溅射镀膜技术具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，所述贝塞尔光束的激光功率为1～40W，所述贝塞尔光束的脉冲宽度为290～6000fs。

3.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，两相邻所述加工点之间的距离小于所述贝塞尔光束的光斑直径。

4.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，步骤C中，所述贝塞尔光束对任意一所述加工点进行激光加工的脉冲数为1～9。

5.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金...

【技术特征摘要】

1.一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，所述贝塞尔光束的激光功率为1～40w，所述贝塞尔光束的脉冲宽度为290～6000fs。

3.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，两相邻所述加工点之间的距离小于所述贝塞尔光束的光斑直径。

4.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，步骤c中，所述贝塞尔光束对任意一所述加工点进行激光加工的脉冲数为1～9。

5.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征在于，步骤d还包括：

6.根据权利要求1所述的一种增强玻璃表面金属膜结合力的方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈云，张俊杰，陈新，廖楠，梁传嶍，侯茂祥，马莉，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：