一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，包括连接板；支撑板，其对称设置在所述连接板的下侧；固定板，其水平设置在两个所述支撑板的下侧，所述固定板的上侧中部间隔设置有多个第一液压顶，所述第一液压顶的活动端连接有可上下升降的T字形拉杆，所述T字形拉杆上卡接有工件板，所述固定板的下侧中部沿其长度方向设置有安装板，所述安装板的下侧一端可拆卸设置有第一限位板；第二限位板，其可拆卸设置在所述固定板的下部位于所述安装板的一侧，所述第二限位板的内侧沿其长度方向间隔设置有若干个第二液压顶。本技术可以解决现有的锁紧装置多采用人工手动锁紧工件导致操作繁琐、精度难以保证、效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体硅片制造，具体为一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置。

技术介绍

1、晶锭多线切割具有高精度、高速度、低损耗的特点，在晶锭多线切割过程中，锁紧装置的稳定性对晶锭的切割质量至关重要。传统的锁紧装置往往需要人工调整，手动拧紧螺丝顶紧推杆斜顶工件板时，使用中螺丝磨损后的适配性以及安装基准面磨损的影响，导致手动锁紧工件板的力道不足或不均匀，造成工件锁紧不到位，人工调整锁紧操作繁琐且精度难以保证。因此，开发一种能够自动调整并锁紧的装置，对提高晶锭切割的效率和质量具有重要意义。

技术实现思路

1、本技术提供了一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，可以解决现有的锁紧装置多采用人工手动锁紧工件导致操作繁琐、精度难以保证、效率低的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，包括连接板；支撑板，其对称设置在所述连接板的下侧；固定板，其水平设置在两个所述支撑板的下侧，所述固定板的上侧中部间隔设置有多个第一液压顶，所述第一液压顶的活动端连接有可上下升降的t字形拉杆，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于：所述安装板(4)的下端面位于所述T字形拉杆(8)的两侧并列设置有两个定位水平条(41)，所述定位水平条(41)与所述安装板(4)固定连接，所述安装板(4)的下侧一端设置有与所述第一限位板(5)相匹配的第一卡槽(42)。

3.根据权利要求1所述的用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于：所述工件板(9)的中部沿其长度方向设置有与所述T字形拉杆(8)相匹配的凹字形开槽(91)，所述工件板(9)的上侧两角处相对设置有定位斜面(92)。

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【技术特征摘要】

1.一种用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于：所述安装板(4)的下端面位于所述t字形拉杆(8)的两侧并列设置有两个定位水平条(41)，所述定位水平条(41)与所述安装板(4)固定连接，所述安装板(4)的下侧一端设置有与所述第一限位板(5)相匹配的第一卡槽(42)。

3.根据权利要求1所述的用于晶锭多线切割的自动锁紧装置，其特征在于：所述工件板(9)的中部沿其长度方向设置有与所述t字形拉杆(8)相匹配的凹字形开槽(91)，所述工件板(9)的上侧两角处相对设置有定位斜面(92)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄业志，梁兴勃，沈海潮，李琴，周涛，阮凯波，李方虎，
申请(专利权)人：金瑞泓科技衢州有限公司，
类型：新型
国别省市：