显示面板及其制作方法、显示装置制造方法及图纸

本申请提供一种显示面板及其制作方法、显示装置，该显示面板包括衬底、第一导电层以及钝化层，第一导电层包括位于非显示区内的导电部，导电部包括层叠设置的第一子层和第二子层，第二子层设于第一子层远离衬底的一侧，第二子层的氧化速率小于第一子层的氧化速率；钝化层上开设有与导电部对应的开孔，开孔暴露部分所述第二子层，第一子层包括相对的第一侧壁和第二侧壁，第二子层覆盖第一侧壁和第二侧壁中的至少一者，避免第一子层裸露可能引起的氧化，影响导电部电性能；同时，在显示面板的制作过程中，可以防止第一子层被刻蚀药液腐蚀，进而提升导电部的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示，尤其涉及一种显示面板及其制作方法、显示装置。

技术介绍

1、现有技术中，有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示面板为减少走线阻抗采用铜(cu)走线作为晶体管器件的栅极、源极以及漏极、外围走线、焊盘(bonding pad)等，由于铜稳定性差，暴露在外部环境时容易氧化，因此不能直接用作绑定区的焊盘。

2、目前，常用钼钛合金(mo-ti)覆盖绑定区的铜，或采用三层金属结构(mo-ti/cu/mo-ti，或者mo-ti/cu/ito)来提高焊盘的稳定性，但在g6及以上的高世代面板线上，大面积金属铜上进行金属氧化物(例如氧化铟锡)沉积时，存在电弧放电风险，可能导致溅射不均匀、衬底损伤和设备宕机，降低良率；此外，氧化铟锡沉积在铜上易形成大晶粒结构，需要增加额外工艺去除该结构，导致生产成本增加，产品良率降低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种显示面板及其制作方法、显示装置，用以缓解相关技术中的不足。

2、为实现上述功能，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种显示面板，其特征在于，包括显示区和设置在所述显示区至少一侧的非显示区：所述显示面板包括：

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一子层包括位于所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的上表面，所述上表面设于所述第一子层远离所述衬底的一侧；

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述导电部还包括第三子层，所述第三子层设于所述第一子层靠近所述衬底的一侧，所述第三子层在所述衬底上的正投影覆盖所述第一子层在所述衬底上的正投影。

4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述开孔包括第一开口和第二开口，所述开孔的尺寸沿所述第一开口至所述第...

【技术特征摘要】

1.一种显示面板，其特征在于，包括显示区和设置在所述显示区至少一侧的非显示区：所述显示面板包括：

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一子层包括位于所述第一侧壁和所述第二侧壁之间的上表面，所述上表面设于所述第一子层远离所述衬底的一侧；

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述导电部还包括第三子层，所述第三子层设于所述第一子层靠近所述衬底的一侧，所述第三子层在所述衬底上的正投影覆盖所述第一子层在所述衬底上的正投影。

4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述开孔包括第一开口和第二开口，所述开孔的尺寸沿所述第一开口至所述第二开口的方向逐渐增大；

5.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第三子层的图案与所述第一子层的图案相同。

6.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁文奇，唐甲，
申请(专利权)人：广州华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：