一种自动对针实现方法技术

本发明专利技术涉及半导体探针台对针技术领域，公开了一种自动对针实现方法，包括以下步骤：步骤1：初始化，初始化OCR系统，设置探针台设备初始位置，并加载待测芯片的信息；步骤2：对针点定位，根据待测芯片的信息，计算出对针点的坐标位置；步骤3：探针对准，在OCR系统的控制下，使探针精确对准对针点；步骤4：对针，在探针对准后，进行对针操作，通过OCR系统控制探针的升降和移动，使探针与芯片精确接触。本发明专利技术本发明专利技术利用OCR技术的优势，实现了高精度的探针校正和芯片坐标获取，保证了自动对针的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体探针台对针，尤其涉及一种自动对针实现方法。

技术介绍

1、半导体探针台设备是半导体制造过程中进行晶圆测试的重要设备。在测试过程中，准确地对针是确保测试结果可靠的关键步骤。然而，随着半导体工艺的不断进步，晶圆尺寸不断增大，探针台设备的对针精度和效率面临着越来越大的挑战。传统的探针台对针方法主要依靠人工操作或简单的机械定位，精度和效率有限，无法满足现代半导体工艺的需求。因此，寻求一种高效、高精度的自动对针方法成为了半导体探针台设备技术发展的重要方向。

2、在现有的半导体探针台设备技术中，对针主要采用机械定位或图像识别等方法。机械定位方法精度有限，且难以实现快速调整；而图像识别方法则容易受到环境光线、镜头畸变等因素的影响，精度不稳定。此外，现有的自动对针方法普遍存在成本高、操作复杂的缺点，难以满足高性能探针台设备的需求。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种自动对针实现方法。

2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动对针实现方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所待测芯片的信息述包括芯片的坐标以及型号。

3.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所述在OCR系统的控制下，使探针精确对准对针点的具体过程为：

4.根据权利要求3所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所述调整至针尖清晰的具体过程为：首先切换光源，同时调节光源亮度调节，仍不清晰时，调节Z轴高度调节至针尖清晰。

5.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：还包括步骤5：检测，在完成对针后，通过OCR...

【技术特征摘要】

1.一种自动对针实现方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所待测芯片的信息述包括芯片的坐标以及型号。

3.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所述在ocr系统的控制下，使探针精确对准对针点的具体过程为：

4.根据权利要求3所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：所述调整至针尖清晰的具体过程为：首先切换光源，同时调节光源亮度调节，仍不清晰时，调节z轴高度调节至针尖清晰。

5.根据权利要求1所述的一种自动对针实现方法，其特征在于：还包括步骤5：检测，在完成对针后，通过ocr系统进行探针与芯片接触质量的检测，确保对针准确无误。

6.根据权利要求1所述的一种自动对针...

【专利技术属性】
技术研发人员：田浩元，沈晓，孙俊杰，付斌，
申请(专利权)人：江苏道达智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：