【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及含硅烷尾气的回收利用领域，具体涉及半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统。
技术介绍
1、在太阳能电池领域，为了减少硅片表面的入射光反射率，增加光的吸收，通常会在硅片表面制备一层减反射膜，可以大大的降低太阳光的反射。采用cvd法（化学气相沉积法）制备的氮化硅薄膜，既具有良好的减反射效果，又有很好的表钝化和体钝化的作用，现在生产中使用最为普遍。硅烷是通常被用来制备氮化硅薄膜的材料之一，一般性的反应方程式为：4nh3+ 3sih4= si3n4+ 12h2。类似的在光伏电池制造过程中通常需要沉积一定厚度的非晶硅或多晶硅层，同样需要应用硅烷气；另外在半导体行业制备外延层过程中也需要应用硅烷气进行外延层沉积，一般性的反应方程式为sih4= si + 2h2。在以上反应中，硅烷（sih4）和氨气（nh3）都不会反应完全，生产过程中会有很大一部分原料气随着反应尾气被抽走，不仅会造成经济损失，排放到大气中还会有环保隐患。
2、以上薄膜制备或外延过程中排放的尾气组分主要为硅烷、氨气、氮气和氢气，各个组分分离出来得到...
【技术保护点】
1.半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述高纯单组分尾气回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、预处理模块、一级膜分离组件单元和二级膜分离组件单元。
2.根据权利要求1所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述原料气压缩机模块包括依次设置的过滤器和压缩机，所述过滤器的出口端连接所述压缩机的进口端，所述压缩机的出口端连接所述预处理模块。
3.根据权利要求2所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述一级膜分离组件单元包括不小于四个的偶数个...
【技术特征摘要】
1.半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述高纯单组分尾气回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、预处理模块、一级膜分离组件单元和二级膜分离组件单元。
2.根据权利要求1所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述原料气压缩机模块包括依次设置的过滤器和压缩机，所述过滤器的出口端连接所述压缩机的进口端，所述压缩机的出口端连接所述预处理模块。
3.根据权利要求2所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的高纯单组分尾气回收系统，其特征在于，所述一级膜分离组件单元包括不小于四个的偶数个分离组件，所述偶数个分离组件之间并列连接。
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟德京，丁俊，王树彬，黄定鑫，
申请(专利权)人：长沙安思新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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