【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种悬臂式探针卡，尤其涉及一种悬臂式探针卡装置及悬臂探针模块。
技术介绍
1、现有悬臂式探针卡包含有一基板与安装于所述基板的多个悬臂探针，并且多个所述悬臂探针的外型大致相同。其中，为使多个所述悬臂探针的针测段位于同一列上，则多个所述悬臂探针也必须被固定于所述基板的同一列多个焊垫上。然而，于现有悬臂式探针卡之中，位于同列的任两个相邻所述焊垫之间的间距需配合待测物的微型化而缩小，因而容易导致焊接缺陷。
2、于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
1、本专利技术实施例的目的在于提供一种悬臂式探针卡装置及悬臂探针模块，其能有效地改善现有悬臂式探针卡所可能产生的缺陷。
2、本专利技术实施例公开一种悬臂式探针卡装置，其包括：一基板，包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫，并且多个第一焊垫沿一排列方向排成一第一列，而多个第二焊垫沿排列方向排成平行且间隔于第一列的一第二列；以...
【技术保护点】
1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：
2.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，任一个所述第一探针的所述第一主体段、所述第一力臂段及所述第一针测段的外型分别等同于任一个所述第二探针的所述第二主体段、所述第二力臂段及所述第二针测段的外型。
3.依据权利要求2所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于任一个所述第二探针之中，所述第二力臂段于所述预设方向上具有一力臂高度，其介于所述延伸高度的5％～50％。
4.依据权利要求3所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述...
【技术特征摘要】
1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：
2.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，任一个所述第一探针的所述第一主体段、所述第一力臂段及所述第一针测段的外型分别等同于任一个所述第二探针的所述第二主体段、所述第二力臂段及所述第二针测段的外型。
3.依据权利要求2所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于任一个所述第二探针之中，所述第二力臂段于所述预设方向上具有一力臂高度，其介于所述延伸高度的5％～50％。
4.依据权利要求3所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段用来抵接于所述待测物时，每个所述第一探针仅于所述第一力臂段产生形变，而每个所述第二探针仅于所述第二力臂段产生形变。
5.依据权利要求2所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于每个所述第二探针之中，所述第二延伸端部的边缘切齐于所述延伸段的边缘与所述第二力臂段的边缘；多个所述第一探针的轮廓于所述排列方向上彼此切齐，并且多个所述第二探针的轮廓于所述排列方向上彼此切齐。
6.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述第一列的多个所述第一焊垫相对于所述第二列的多个所述第二焊垫于垂直所述排列方向与所述预设方向的一延伸方向上彼此相隔有一错开距离，任一个所述第二探针的所述延伸段于所述延伸方...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑皓严，赖融暘，曾照晖，苏伟志，
申请(专利权)人：台湾中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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