【技术实现步骤摘要】
本申请涉及化工设备，具体而言，本申请涉及一种碳载纯化装置。
技术介绍
1、电子生产工业中，需要用到特种气体，如高纯的氧气、氮气、二氧化碳、氩气和丙烷等等，这些特种气体的纯度要远远高于普通的工业气体。
2、高纯度的氢气、氮气、稀有气体、氧气等气体是发光二极管、大规模集成电路等半导体产业的重要原料，这些气体主要作为半导体生产过程中的载气、保护气，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高。例如高纯氮可以用作化学气相沉淀时的载气。另外，高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，也作为置换、干燥、贮存和输送用气体。然而，一方面，体积含量低于纯度为99.9％普氮中往往因为浓度过低，且含有大量杂质，固体杂质尚且不说，对于气体杂质，例如氧气、二氧化碳、一氧化碳、二氧化硫和稀有气体等，均会影响普氮的保护效果。另一方向，直接采购高纯氮，会大幅提高生产成本，降低产品竞争力。
3、综上所述，现有技术中存在氮气纯度不高或者采购成本较高的技术问题。
技术实现思路<...
【技术保护点】
1.一种碳载纯化装置，其特征在于，包括；
2.根据权利要求1所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述热交换器具有原料入口、回流入口、反应出口和过滤出口，所述原料入口与所述混合气输入管连接，所述回流入口与所述第二脱氧塔连接，所述反应出口与所述加热器连接，所述过滤出口与所述干燥过滤机构连接。
3.根据权利要求1所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述干燥过滤机构包括干燥机，所述干燥机至少包括两个并联的干燥塔体，所述干燥塔体填充有活性氧化铝或分子筛，两个所述干燥塔体的入口均与所述热交换器连接。
4.根据权利要求3所述的碳载纯化装置，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种碳载纯化装置，其特征在于，包括；
2.根据权利要求1所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述热交换器具有原料入口、回流入口、反应出口和过滤出口，所述原料入口与所述混合气输入管连接，所述回流入口与所述第二脱氧塔连接，所述反应出口与所述加热器连接，所述过滤出口与所述干燥过滤机构连接。
3.根据权利要求1所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述干燥过滤机构包括干燥机，所述干燥机至少包括两个并联的干燥塔体，所述干燥塔体填充有活性氧化铝或分子筛，两个所述干燥塔体的入口均与所述热交换器连接。
4.根据权利要求3所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述干燥塔体包括变压吸附干燥塔体或者变温吸附干燥塔体。
5.根据权利要求3所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述干燥过滤机构还包括冷却器，所述冷却器位于所述热交换器与所述干燥机之间，每个所述干燥塔体的入口通过所述冷却器与所述热交换器连接。
6.根据权利要求5所述的碳载纯化装置，其特征在于，所述冷却器包括内部冷却管和冷却器外壳，所述冷却器外壳与所述内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，伍进元，郭小庆，
申请(专利权)人：湖北耐卡净化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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