一种显影装置制造方法及图纸

本技术提供了一种显影装置，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；吸盘、喷嘴和称重传感器设置在腔体内，显示屏和电源设置在腔体外；喷嘴设置在吸盘的上方，称重传感器与吸盘的下表面连接；称重传感器与显示屏电连接，称重传感器和显示屏分别与电源电连接。在晶圆显影的过程中，可以通过称重传感器和显示屏获取同一型号的多个晶圆在不同重量W的显影液进行显影时实际用于显影的显影液的重量M，然后根据多组W和M数据，拟合得到W‑M曲线，该曲线中突降的临界点B对应的M即为最佳的显影液用量，后续该型号的晶圆均可使用最佳的显影液用量进行显影，这样可以有效减少显影液用量和浪费，降低企业成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种显影装置。

技术介绍

1、半导体制造过程中需要使用显影装置，显影装置通常包括腔体、吸盘(chuck，吸盘)和喷嘴(nozzle，喷嘴)，吸盘和喷嘴设置在腔体中，喷嘴设置在吸盘的上方。目前常用的一种喷嘴为长条形多孔喷嘴，长条形多孔喷嘴相对吸盘可移动。在显影过程中，晶圆固定在吸盘上，长条形多孔喷嘴从晶圆的一侧向晶圆的另一侧移动，在移动过程中向晶圆的上表面喷洒l1毫升显影液，然后静置一段时间进行显影，显影结束后再清理晶圆上的显影液。

2、然而，在晶圆静置的过程中，晶圆上表面上的一部分显影液从晶圆的四周流出，实际停留在晶圆上表面上的显影液为l2毫升。流出的l1-l2毫升显影液实际是浪费掉的，只有l2毫升显影液用于显影。另外，在生产过程中，不同型号的产品通常使用同一个显影设备，为了满足不同型号的产品在同一个l1值下均能完成显影工艺，通常l1值设定的比较大，这样进一步增加了显影液的浪费，并且显影液的价格比较昂贵，导致生产成本较高。

技术实现思路

1、本技术提供了一种显影装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种显影装置，其特征在于，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；所述吸盘、所述喷嘴和所述称重传感器设置在所述腔体内，所述显示屏和所述电源设置在所述腔体外；所述喷嘴设置在所述吸盘的上方，所述称重传感器与所述吸盘的下表面连接；所述称重传感器与所述显示屏电连接，所述称重传感器和所述显示屏分别与所述电源电连接。

2.如权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于，所述装置还包括第一开关，所述第一开关设置在所述称重传感器和所述电源之间。

3.如权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于，所述装置还包括第二开关，所述第二开关设置在所述显示屏和所述电源之间。

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【技术特征摘要】

1.一种显影装置，其特征在于，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；所述吸盘、所述喷嘴和所述称重传感器设置在所述腔体内，所述显示屏和所述电源设置在所述腔体外；所述喷嘴设置在所述吸盘的上方，所述称重传感器与所述吸盘的下表面连接；所述称重传感器与所述显示屏电连接，所述称重传感器和所述显示屏分别与所述电源电连接。

2.如权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于，所述装置还包括第一开关，所述第一开关设置在所述称重传感器和所述电源之间。

3.如权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于，所述装置还包括第二开关，所述第二开关设置在所述显示屏和所述电源之间。

4.如权利要求1所述的一种显影装置，其特征在于，所述吸盘的下表面设置有凹槽；所述称重传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琼，张润生，卢书强，漆学睿，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：

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