本申请提供了一种膜厚测量仪及测量方法，膜厚测量仪包括载物台、探头模块、探头驱动模块和控制器；探头模块包括光源模块和光电转换模块，光电转换模块将待测膜反射的光信号转换为电信号；探头模块设置在探头驱动模块上，探头驱动模块设置有驱动器；控制器根据待测膜的类型读取记录数据，从记录数据中获取驱动器运动参数，根据驱动器运动参数控制驱动器驱动探头模块移动至检测坐标，根据电信号处理得到膜厚数据；实现了自动化测量膜的厚度，节省了人力成本，提高了测量精确度。
【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及测量仪器领域，尤其涉及一种膜厚测量仪及测量方法。
技术介绍
1、薄膜在半导体、液晶显示、光学镀层等多个领域中得到广泛应用。膜的厚度和厚度均匀性会对薄膜产品的质量产生不同的影响，比如光刻胶膜厚在光刻工艺中具有至关重要的影响，它直接关系到图案的精确度、分辨率及后续蚀刻等步骤的效果，因为需要对光刻胶薄膜膜厚的数值进行监控以保证光刻胶的良品率。
2、对于一些大尺寸薄膜产品，需要对薄膜产品的成百上千个点位进行测试。若采用人工测量膜厚的方法，存在人工操作工作量大、耗时长、取样点位随机性大、效率低等问题。
技术实现思路
1、以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
2、本申请的目的在于至少一定程度上解决相关技术中存在的技术问题之一，本申请实施例提供了一种膜厚测量仪及测量方法，能够实现自动化测量膜的厚度。
3、本申请的第一方面的实施例，一种膜厚测量仪，包括：
4、载物台，所述载物台用于放置待测膜；
>5、探头模块，所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种膜厚测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述探头驱动模块包括第一滑轨和两条第二滑轨，所述第一滑轨的两端分别与两条所述第二滑轨滑动连接，所述探头模块与所述第一滑轨滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第一滑轨包括第一电机、第一转盘、第二转盘、第一皮带、第一轨体和第一安装座；所述第一电机与所述第一转盘连接，所述第一皮带绕设在所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述第一安装座固定在所述第一皮带上，并通过滚轮与所述第一轨体滑动连接；所述探头模块安装在所述第一安装座上。
4.根据权利要
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【技术特征摘要】
1.一种膜厚测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述探头驱动模块包括第一滑轨和两条第二滑轨，所述第一滑轨的两端分别与两条所述第二滑轨滑动连接，所述探头模块与所述第一滑轨滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第一滑轨包括第一电机、第一转盘、第二转盘、第一皮带、第一轨体和第一安装座；所述第一电机与所述第一转盘连接，所述第一皮带绕设在所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述第一安装座固定在所述第一皮带上，并通过滚轮与所述第一轨体滑动连接；所述探头模块安装在所述第一安装座上。
4.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第二滑轨包括第二电机、第三转盘、第四转盘、第二皮带、第二轨体和第二安装座；所述第二电机与所述第三转盘连接，所述第二皮带绕设在所述第三转盘和所述第四转盘之间；所述第二安装座固定在所述第二皮带上，并通过滚轮与所述第二轨体滑动连接；所述第一滑轨安装在所述第二安装座上。
5.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡晓东，黄国香，
申请(专利权)人：广州景颐光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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