【技术实现步骤摘要】
本申请涉及管道阀门，特别是涉及一种蝶阀。
技术介绍
1、在半导体材料外延生长(包括但不限于碳化硅、氮化镓、硅、砷化镓等)过程中，一般采用化学气相沉积的方法。材料的生长在一个可控压可加热的腔体内进行。对于控压系统来说，蝶阀是核心部件。软密封的蝶阀通常使用橡胶圈作为其密封部件。由于蝶阀开关频繁，橡胶圈将不断磨损而影响密封性，同时橡胶圈使用中会不断粘附尾气中的外延副产物，导致蝶阀黏连而影响开关灵活性。随着粘附物的增加，甚至会导致其出现无法控压的情况。因此蝶阀需要进行定期维护，从而保证控压的准确性。但对于大规模生产来说，蝶阀频繁维护意味着需要频繁停机停产，导致生产产能受到影响。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种蝶阀，用以解决频繁维护蝶阀导致生产产能受影响的问题。具体技术方案如下：
2、本申请实施例提供了一种蝶阀，包括阀体、至少两个阀板组件、驱动机构和至少两个阀杆，至少两个所述阀板组件沿所述蝶阀内的介质流动方向间隔设于所述阀体的内腔中；所述介质流动方向为第一方向；所述阀板...
【技术保护点】
1.一种蝶阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，所述驱动机构(30)包括至少两个第一电机，所述第一电机与所述阀杆(40)一一对应连接，所述第一电机用于驱动所述阀杆(40)转动。
3.根据权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，所述蝶阀还包括外壳(50)，所述外壳(50)与所述阀体(10)连接；所述驱动机构(30)包括设于所述外壳(50)内的第一驱动件(31)、至少一个第二电机(32)、至少一个第一齿轮(33)和多个第二齿轮(34)，所述第一齿轮(33)与所述第二电机的输出轴(321)连接，所述第二齿轮(34)与所述阀杆(4...
【技术特征摘要】
1.一种蝶阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，所述驱动机构(30)包括至少两个第一电机，所述第一电机与所述阀杆(40)一一对应连接，所述第一电机用于驱动所述阀杆(40)转动。
3.根据权利要求1所述的蝶阀，其特征在于，所述蝶阀还包括外壳(50)，所述外壳(50)与所述阀体(10)连接；所述驱动机构(30)包括设于所述外壳(50)内的第一驱动件(31)、至少一个第二电机(32)、至少一个第一齿轮(33)和多个第二齿轮(34)，所述第一齿轮(33)与所述第二电机的输出轴(321)连接，所述第二齿轮(34)与所述阀杆(40)伸出所述阀体(10)的一端连接，所述第一齿轮(33)位于相邻两个所述第二齿轮(34)之间，所述第一驱动件(31)用于驱动所述第二电机(32)沿所述第一方向(x)运动，以带动所述第一齿轮(33)分别与相邻两个所述第二齿轮(34)啮合。
4.根据权利要求3所述的蝶阀，其特征在于，所述驱动机构(30)还包括第三齿轮(35)和第四齿轮(36)，所述第三齿轮(35)与所述第四齿轮(36)同轴连接，所述第三齿轮(35)的直径大于所述第四齿轮(36)的直径，所述第三齿轮(35)能够与所述第一齿轮(33)啮合，所述第四齿轮(36)能与所述第二齿轮(34)啮合。
5.根据权利要求3所述的蝶阀，其特征在于，所述第一驱动件(31)包括丝杠电机(310)、丝杠(311)、螺母，所述丝杠(311)沿所述第一方向(x)设置，所述丝杠电机(310)的输出轴与所述丝杠(311)连接，所述螺母与所述丝杠(311...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡凌峰，杨军伟，郭松波，宋华平，
申请(专利权)人：中科汇珠广州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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