【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密元件支撑，具体涉及一种热稳定支撑装置。
技术介绍
1、在超高精密光学机械系统中，常常需要具有低热漂移的支撑结构来保持光学元件的高稳定性。以同步辐射或自由电子激光x射线反射镜为例，其核心光学元件工作于超高真空环境下且需配备冷却循环机组以保证稳定运行。镜体支撑结构需穿过真空腔体与地面连接固定，不可避免地与周围环境产生直接或间接接触，进而受到环境温度波动等因素影响。虽然实际服役过程中，采用温控设备严格控制环境温度。但随着昼夜交替四季变换，仍存在约±2℃温差，该温差直接作用于真空腔外镜体支撑结构，使其发生一定程度的受热膨胀/收缩。由于真空腔内部结构温度基本恒定，在变化的环境温度下真空内外部件膨胀/收缩量不匹配将会导致真空腔内光学元件支撑及夹持机构发生一定程度畸变，继而导致光学元件位置或面形精度受到严重影响。
2、常见的温漂抑制技术包括恒温控制系统，恒温控制系统是通过高精度环境温度控制技术配合建造隔热罩等，建立近恒温系统，然而该系统的结构以及控制过程比较复杂，且成本较高。
3、鉴于此，现有技术还有待改进和
【技术保护点】
1.一种热稳定支撑装置，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装基座的膨胀系数为所述真空外基底的膨胀系数的一倍以上，所述安装基座的尺寸与所述安装基座的膨胀系数的乘积大于所述安装基座的连接面到基准点的距离与所述真空外基底的膨胀系数的乘积，以使得所述安装基座的表面上相对于基准点形成零位移点。
3.根据权利要求1所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装孔与所述安装基座的数量优选为三个，以形成三角结构。
4.根据权利要求3所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装基座的截面的尺寸均小于...
【技术特征摘要】
1.一种热稳定支撑装置，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装基座的膨胀系数为所述真空外基底的膨胀系数的一倍以上，所述安装基座的尺寸与所述安装基座的膨胀系数的乘积大于所述安装基座的连接面到基准点的距离与所述真空外基底的膨胀系数的乘积，以使得所述安装基座的表面上相对于基准点形成零位移点。
3.根据权利要求1所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装孔与所述安装基座的数量优选为三个，以形成三角结构。
4.根据权利要求3所述的一种热稳定支撑装置，其特征在于，所述安装基座的截面的尺寸均小于所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘佳音，徐中民，秦宏亮，黄志锋，王旭东，张未卿，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：
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