一种实时质量监控系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种实时质量监控系统及方法，涉及半导体及FPD技术领域。本发明专利技术，包括数据采集模块、数据处理引擎、判定与预警模块、判断规则及处理方式设置模块，所述数据采集模块连接有数据接口，其数据接口与MSC系统相连接，且数据接口通过MSC系统与生产设备相连接。本发明专利技术，可以在实时且不增加MES系统负担的前提下，将生产工序的数据接收并自动转换为SPC易用数据，并根据设置的规则进行产品或设备状态判定，针对异常状况发送报警，以便及时发现产品及设备问题，指导后续生产，避免产生重大损失；该系统在数据接收处理过程中结合数据来源判断模式进行判断，确保了返工及实验过程的数据不会进入到正常生产的数据中，防止产生“误判”。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体及fpd(flat panel display)领域，具体涉及一种实时质量监控系统及方法。

技术介绍

1、半导体及fpd的制造工序非常多，使用的设备也非常多。其中，大部分是精密设备。而设备的各零部件会产生老化，并将对所生产的产品质量造成很大的影响。为了保证产品的质量，把握各工序中的微小变化，保持质量的稳定状态成为日常生产要务，一台生产设备在1个制造工序中会产生数千条各种数据。例如在制造设备中处理的气体的流量、压力、温度，同心度、振动等。由于老化、磨损等，会造成偏差等，为针对这些数据进行统计分析，从而进行调整以保证生产质量而出现spc(statisticalprocesscontrol)系统。

2、在半导体及fpd生产中使用mes(manufactur ingexecutionsystem)时，大多数会配套spc系统来保证产品质量。但一般传统spc系统功能并非是实时的，会有一定的延迟。即使是实时跟踪，因为需要进行复杂的spc计算、判定，从而影响mes系统的响应速度的例子也很多。从功能的独立性观点出发，要求品质解析功能独立，并希本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种实时质量监控系统，其特征在于，包括数据采集模块、数据处理引擎、判定与预警模块、判断规则及处理方式设置模块，所述数据采集模块连接有数据接口，其数据接口与MSC系统相连接，且数据接口通过MSC系统与生产设备相连接，所数据采集模块与数据处理引擎相连接，所述数据处理引擎与判定及预警模块相连接，所述数据处理引擎与判定及预警模块和判断规则及处理方式设置模块相连接，所述判定及预警模块连接另一数据接口，且另一数据结构连接传统SPC系统，传统SPC系统连接Master接口，经Master接口与判断规则及处理方式设置模块相连接。

2.根据权利要求1所述的一种实时质量监控系统，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种实时质量监控系统，其特征在于，包括数据采集模块、数据处理引擎、判定与预警模块、判断规则及处理方式设置模块，所述数据采集模块连接有数据接口，其数据接口与msc系统相连接，且数据接口通过msc系统与生产设备相连接，所数据采集模块与数据处理引擎相连接，所述数据处理引擎与判定及预警模块相连接，所述数据处理引擎与判定及预警模块和判断规则及处理方式设置模块相连接，所述判定及预警模块连接另一数据接口，且另一数据结构连接传统spc系统，传统spc系统连接master接口，经master接口与判断规则及处理方式设置模块相连接。

2.根据权利要求1所述的一种实时质量监控系统，其特征在于，该系统包括可定义数据来源判断模式，所述可定义数据来源判断模式包含但不限于以下模式：

3.根据权利要求2所述的一种实时质量监控系统，其特征在于，若在最初的生产工序、生产设备或测量工序开始后在指定的工序数内没有数据产生，则将已采集的数据删除，若在最初的生产工序、生产设备或测量工序开始后，在数...

【专利技术属性】
技术研发人员：李华，王俊生，
申请(专利权)人：华经微电子南京有限公司，
类型：发明
国别省市：