一种外延生长设备MO源过滤装置制造方法及图纸

本技术公开了一种外延生长设备MO源过滤装置，包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，源瓶上连接有进气管和过渡管，过渡管与出气管之间连接有过滤器，过滤器包括壳体和过滤网，过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。本技术从源头着手对源瓶中的大颗粒物进行过滤，有效避免或减少MO管道、MFC等器件出现MO源残留而影响Alkyl Flow MFC性能，减少更换及复机的麻烦。本技术的过滤器、过滤网可自由拆装，便于拆卸清洗或维护，使用方便，实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于led芯片，具体涉及一种外延生长设备mo源过滤装置。

技术介绍

1、由于mocvd生长过程中，外延生长设备的固态源瓶中颗粒物会随mo源进入mo管道、mfc等器件，导致其内部出现残留物，日积月累下会导致mo source mfc（alkyl flow mfc）达不到设定值而出现性能异常，从而影响到机台正常量产。由于目前未对alkyl flow mfc达不到设定值的情况进行预防，待其发生异常后，必须安排更换，而更换后需要coating、曝气、pm等手法进行复机，且复机较困难，一般需要1-10天，严重影响生产效率。因此，现亟需针对mo源进行过滤和预防处理，避免或减少因出现mo源残留而导致alkyl flow mfc无法达到设定值需要更换及mocvd复机的麻烦。

技术实现思路

1、本技术针对
技术介绍
中的不足，提供了一种外延生长设备mo源过滤装置，从源头着手，对大体积颗粒物进行过滤，有效避免mo管道、mfc等器件出现mo源残留而影响alkyl flow mfc性能，减少更换及复机的麻烦。</p>

2、为实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种外延生长设备MO源过滤装置，其特征在于：包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，所述源瓶上连接有进气管和过渡管，所述过渡管与出气管之间连接有过滤器，所述过滤器包括壳体和过滤网，所述过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的一种外延生长设备MO源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与设在壳体上的插槽配合连接。

3.如权利要求2所述的一种外延生长设备MO源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与插槽的连接处设有密封垫A。

4.如权利要求1所述的一种外延生长设备MO源过滤装置，其特征在于：所述过滤网的数量至少为两个，至少两个过滤网...

【技术特征摘要】

1.一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，所述源瓶上连接有进气管和过渡管，所述过渡管与出气管之间连接有过滤器，所述过滤器包括壳体和过滤网，所述过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与设在壳体上的插槽配合连接。

3.如权利要求2所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与插槽的连接处设有密封垫a。

4.如权利要求1所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网的数量至少为两个，至少两个过滤网沿过mo源输送方向间隔分布。

5.如权利要求1至4任意一项所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网包括框架和设于框架内...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐志军，饶晓松，张成旺，江汉，刘勇，谢陶，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：新型
国别省市：