一种探针卡测试用干燥吹气装置制造方法及图纸

本技术涉及探针卡应用技术领域，且公开了一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡，以及配合探针卡进行晶圆测试并设置于探针卡正上方的测试机，其特征在于：所述测试机上设有喷吹机构，所述喷吹机构包括进气单元，连接于进气单元输出端上的气管一，设置于气管一上远离进气单元一端的固定结构，通过所述固定结构与测试机形成连接并朝探针卡所在侧喷吹。本技术通过在测试机上设置喷吹机构，在晶圆测试的同时对探针卡进行干燥，使探针卡周围环境始终保持干燥，以降低湿度，避免频繁地将探针卡取出、烘烤、再安装，从而提升机台稼动率和测试效率，同时避免人员频繁的将探针卡从机台上取出和安装而造成MO事件，进而减轻技术人员的负担。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及探针卡应用，具体为一种探针卡测试用干燥吹气装置。

技术介绍

1、探针卡是用于测试晶圆的一种精密治具，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试,是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。

2、探针卡在测试部分型号的产品时会出现leakage异常现象。现有技术通常是由技术人员将探针卡从机台上取出，然后放入烤箱使用75℃高温烘烤一小时左右，使探针卡整体湿度降低，然后再将探针卡重新安装至机台上面恢复产品测试。这个方式存在一些弊端：一方面是将探针卡烘烤完上机后，只能够维持正常测试1h～2h，若再出现leakage现象，则需要重复烘烤的动作，并且技术人员频繁的将probe card从机台上取出和安装会增加工作人员负担，并且容易造成mo(例如：撞针、撞卡)事件；另一方面是每次烘烤所需要的时间在一小时左右，且频繁烘烤会导致机台稼动率降低，从而导致产能降低，不利于生产。

技术实现思路

<p>1、本技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡(1)，以及配合探针卡(1)进行晶圆测试并设置于探针卡(1)正上方的测试机(2)，其特征在于：所述测试机(2)上设有喷吹机构(3)，所述喷吹机构(3)包括进气单元(31)，连接于进气单元(31)输出端上的气管一(32)，设置于气管一(32)上远离进气单元(31)一端的固定结构(33)，通过所述固定结构(33)与测试机(2)形成连接并朝探针卡(1)所在侧喷吹。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述固定结构(33)包括连接座(331)，安装于连接座(331)两侧的一对L型板(332)，所述连接座(331...

【技术特征摘要】

1.一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡(1)，以及配合探针卡(1)进行晶圆测试并设置于探针卡(1)正上方的测试机(2)，其特征在于：所述测试机(2)上设有喷吹机构(3)，所述喷吹机构(3)包括进气单元(31)，连接于进气单元(31)输出端上的气管一(32)，设置于气管一(32)上远离进气单元(31)一端的固定结构(33)，通过所述固定结构(33)与测试机(2)形成连接并朝探针卡(1)所在侧喷吹。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述固定结构(33)包括连接座(331)，安装于连接座(331)两侧的一对l型板(332)，所述连接座(331)侧边连接有延伸板(333)，所述延伸板(333)上远离连接座(331)的一端设有出气头(334)。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述连接座(331)侧边开设有通孔，所述延伸板(333)上设有变向接头(335)，所述气管一(32)一端穿过通孔与变向接头(335)一端连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李江峰，高俊，丁江，张星，傅佳豪，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：