一种垂直腔面发射激光器及其制备方法技术

本申请公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法，涉及光电器件技术领域，该垂直腔面发射激光器中N型DBR反射层包括沿背离衬底方向层叠的m组DBR反射层组，DBR反射层组包括沿背离衬底方向层叠的k个反射单元，反射单元包括低Al组分的高折射率层Al<subgt;x</subgt;GaAs层和高Al组分的低折射率层Al<subgt;y</subgt;GaAsP层；当衬底为N型GaAs衬底时，由于AlGaAsP材料相比于传统N型DBR反射层的AlGaAs材料与GaAs材料晶格更为匹配，因此，低折射率层采用Al<subgt;y</subgt;GaAsP层可以减小应力和翘曲，提高器件均匀性。并且，沿背离衬底的方向各组DBR反射层组中低折射率层的P组分逐渐减小，以逐渐向Al<subgt;y</subgt;GaAs层过渡。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光电器件，尤其涉及一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。

技术介绍

1、垂直腔面发射激光器（vertical cavity surface emitting laser，vcsel）是一种半导体微腔激光器，相较于传统的边发射激光器，垂直腔面发射激光器由于具有低阈值电流、体积小、圆对称光斑易于光纤耦合、高光束质量、单纵模、面发射易于集成等优势，在近年来得到了迅猛的发展，广泛应用于人脸识别等三维传感、光通信、激光雷达、无人驾驶等领域中。

2、目前发展最为成熟和得到广泛应用的是氧化限制型的vcsel，其结构参考图1所示，主要由有源层、上下限制层、上下反射层、氧化限制层和上下电极组成。其中，有源层由多量子阱组成；有源层上下两侧是限制层，限制层既起到限制载流子的作用，又起到调节腔长的作用；限制层上下两侧分别是p型dbr（distributed bragg reflection，分布式布拉格反射）反射层和n型dbr反射层，p型dbr反射层和n型dbr反射层分别是用折射率不同的两种材料以1/4光学波长厚度反复堆积而成，通过调节两种材料的折射率差及对数本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，第i组所述DBR反射层组中各个所述反射单元的所述第二折射率层的P组分相等；

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述反射单元还包括：

4.根据权利要求1-3任一项所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述衬底为N型GaAs衬底。

5.根据权利要求1-3任一项所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述衬底为N型Ge衬底，所述N型Ge衬底的晶向为100面偏111面大于等于2°；

6.根据权利要求5所述的垂直腔面...

【技术特征摘要】

1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，第i组所述dbr反射层组中各个所述反射单元的所述第二折射率层的p组分相等；

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述反射单元还包括：

4.根据权利要求1-3任一项所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述衬底为n型gaas衬底。

5.根据权利要求1-3任一项所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述衬底为n型ge衬底，所述n型ge衬底的晶向为100面偏111面大于等于2°；

6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴真龙，何剑，
申请(专利权)人：扬州乾照光电有限公司，
类型：发明
国别省市：