氧化物烧结体制造技术

一种氧化物烧结体，包含固溶有Zn的立方晶的MgO、固溶有Mg的六方晶的ZnO及固溶有Mg的ZnGa<subgt;2</subgt;O<subgt;4</subgt;。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及氧化物烧结体及用于形成薄膜的成膜用材料。

技术介绍

1、mgo-zno系氧化物具有在彩色液晶投影仪用透光性陶瓷(专利文献1)、氧化物半导体(专利文献2)、透明电极(专利文献3)等中的应用例。

2、上述烧结体是重视导电性的材料，但由于以zno为主成分，因此在紫外线区域的透光性方面存在技术问题。

3、针对上述技术问题，本专利技术人等公开了一种氧化物烧结体，包含锌、镁、正3价或正4价的金属元素x和氧作为构成元素，通过调整这些元素的比，能够得到紫外线区域的透光性高且导电性也高的膜(专利文献4)。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2009-184898号公报

7、专利文献2：日本特开2012-066968号公报

8、专利文献3：日本特开2011-063866号公报

9、专利文献4：国际公开第2020/262433号

技术实现思路

1、本专利技术人等进一步进行了研究，结果发现，在使用包含固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氧化物烧结体，其特征在于，

2.如权利要求1所述的氧化物烧结体，其特征在于，

3.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

4.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

5.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

6.如权利要求2～5的任一项所述的氧化物烧结体，其特征在于，

7.如权利要求6所述的氧化物烧结体，其特征在于，

8.一种成膜用材料，其特征在于，

9.如权利要求8所述的成膜用材料，其特征在于，

10.如权利要求8所述的成膜用材料，其特征在于，

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种氧化物烧结体，其特征在于，

2.如权利要求1所述的氧化物烧结体，其特征在于，

3.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

4.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

5.如权利要求2所述的氧化物烧结体，其特征在于，

6.如权利要求2～...

【专利技术属性】
技术研发人员：苫井重和，胜又聪，大山正嗣，
申请(专利权)人：出光兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：